[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220518668.1 | 申請(qǐng)日: | 2012-10-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN202839582U | 公開(kāi)(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱紹明;戴軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州羅博特科自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/687 | 分類號(hào): | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海勝康律師事務(wù)所 31263 | 代理人: | 張堅(jiān) |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市蘇州*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng) 變節(jié) 夾具 | ||
1.一種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具,其特征在于:包括由頂板、底板以及兩側(cè)板圍成的框架、位于框架內(nèi)的沿兩側(cè)板內(nèi)表面能夠上下滑動(dòng)的多層硅片擱置板以及兩根撥桿,所述多層硅片擱置板之間具有間隙,每層間隙兩端均設(shè)有間距墊片;所述間距墊片首端為薄部,尾端為厚部,中間為漸變斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述間隙中;每根撥桿依次穿過(guò)同一側(cè)的所有間距墊片的卡孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具,其特征在于:所述兩根撥桿由同步帶進(jìn)行連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具,其特征在于:所述卡孔和所述撥桿的截面均為方形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具,其特征在于:所述側(cè)板內(nèi)表面具有兩道豎向的滑槽,所述硅片擱置板兩端分別具有兩個(gè)位于所述滑槽內(nèi)的凸出滑塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的變節(jié)距夾具,其特征在于:所述硅片擱置板具有掏空區(qū)域。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于蘇州羅博特科自動(dòng)化設(shè)備有限公司,未經(jīng)蘇州羅博特科自動(dòng)化設(shè)備有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220518668.1/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 電流驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電路,電流驅(qū)動(dòng)設(shè)備及其驅(qū)動(dòng)方法
- 驅(qū)動(dòng)電路、驅(qū)動(dòng)模塊以及電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置
- 驅(qū)動(dòng)電路、驅(qū)動(dòng)模塊和電機(jī)驅(qū)動(dòng)設(shè)備
- 驅(qū)動(dòng)單元、驅(qū)動(dòng)方法、驅(qū)動(dòng)電路及顯示面板
- 驅(qū)動(dòng)電路、驅(qū)動(dòng)芯片及其驅(qū)動(dòng)方法
- 驅(qū)動(dòng)電機(jī)(電驅(qū)動(dòng))
- 驅(qū)動(dòng)電機(jī)(節(jié)能驅(qū)動(dòng))
- 驅(qū)動(dòng)電機(jī)(設(shè)備驅(qū)動(dòng))
- 驅(qū)動(dòng)機(jī)(驅(qū)動(dòng)軸)
- 驅(qū)動(dòng)機(jī)(電驅(qū)動(dòng))





