[實用新型]高通量半導體加工應用的體系結構

有效

• 申請號: 201220514603.X
• 申請日: 2012-10-09
• 公開（公告）號: CN202948905U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 宋坡玲
• 申請（專利權）人: 宋坡玲
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種高通量半導體加工應用的體系結構。這種采用多通路蜂窩式結構的新型設計，設計精良工藝高端。從而提供了一種大大提升了半導體加工應用的結構體系，仿生物結構模式的引入，把半導體加工應用提升到了一個新的高度。?

背景技術

目前，公知的半導體加工應用體系結構，一般單片式組合模式，這種模式不但部件繁多，而且所能提供的電流通量也不大。本實用新型是一種高通量半導體加工應用的體系結構，通過仿生學原理采用蜂窩式構筑結構，不但產生功率更大，而且其結構牢固，大大改善了目前半導體加工應用的系統結構的缺陷，這點創新設計在商業運營推廣中是一種極大的競爭優勢，可貴的是這項技術設計方案合理實用，并把仿生學的理念靈活運用在半導體結構上，在思維上打破成規，從而帶來了新的技術革命。?

發明內容

為了克服目前傳統的半導體加工應用體系結構所存在的缺陷，本實用新型提供了一種高通量半導體加工應用的體系結構，由于其牢固又新穎的結構模式，能夠產生高效的電流通量，從而實現更高效的工作率，完善設備的功能。通過此項技術創新的產品能更好的被運用及推廣在商業及工業制造領域。?

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種高通量半導體加工應用的體系結構，包括：蜂窩形結構?，高效電流流通管，其特征是：采用了仿生物學原理通過蜂窩式的結構構造，高效電流流通管被安裝于蜂窩形結構內。蜂窩式結構的優勢在于結構穩固且美觀，同時具有高通量的實用性，大大提高了工作效率，并且其結構摒棄了反復的工作零件，在結構上一目了然更便于維修，從而也就實現了設計精良拆卸簡便的目的，大大提高了半導體加工應用體系的工作性能。也借由蜂窩式的建構原理，在工作運用上更具靈活變通性，由于結構的完整性更便于實現體系結構在半導體系統中的載入，在實現高效率電流交互的同時能合理分配各環節的工作職能。這種高通量半導體加工應用的體系結構的設計比起傳統的半導體加工應用體系結構設計更加適用于工業加工領域，更加能發揮出提高工作效率的職能，擴大了使用范圍，并且也可以在更多領域運用此項技術創新從而帶來更多的收益。?

本實用新型的有益效果是，在實際的運用過程中，此項實用新型提供了一種高通量半導體加工應用的體系結構，通過仿生學構筑原理摒棄了繁瑣的工作零件，運用蜂窩式結構優勢得到整齊劃一且極具靈活性的結構體系，大大提高了結構所能起到的工作效率。例如當系統運作時，蜂窩式的結構可提供多渠道高性能的電流通量，從而能更高效地實現半導體加工應用體系結構的工作職能。?

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。?

圖1是本實用新型的設計原理圖。?

圖中??1.?實用新型整體?，2.?蜂窩形結構?，3.?高效電流流通管。?

具體實施方式

在圖1中，高通量半導體加工應用的體系結構，蜂窩形結構2中的高效電流流通管3大大提高了半導體加工應用體系結構的工作效率。?