[實用新型]具有透射及反射光源的照明裝置及光學(xué)檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220506336.1
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN202794062U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張梁;李波;樊思民;董玉靜;溫曄
• 申請（專利權(quán)）人: 肇慶中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 林火城

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，尤其涉及用于檢測可透射的被測物體的前后表面的光學(xué)檢測系統(tǒng)，以及應(yīng)用于該光學(xué)檢測系統(tǒng)的照明裝置。

背景技術(shù)

通常，平板玻璃、觸摸屏、導(dǎo)光板或液晶面板等透光性/半透光性產(chǎn)品在制造中需要通過光學(xué)檢測系統(tǒng)對其進行質(zhì)量檢測從而判定產(chǎn)品工藝和制程是否合格，然后以此為依據(jù)對工藝和制程進行改善并對產(chǎn)品進行修復(fù)以提高產(chǎn)品良率。光學(xué)檢測系統(tǒng)一般包括光源及CCD測試機，通過光源向被測物體發(fā)射光線，光線經(jīng)被測物體反射到達CCD測試機中，通過CCD測試機對光學(xué)影像轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并進行分析比較，從而判斷該被測物體表面是否合格。如果需要檢測被測物體的第二表面時，則需要將被測物體反置或者放置另一光學(xué)檢測系統(tǒng)，另一光學(xué)檢測系統(tǒng)發(fā)射的光線入射至被測物體的第二表面并透射或反射至CCD測試機中，通過CCD測試機分析判斷該被測物體表面是否合格。然，該種通過兩套光學(xué)檢測系統(tǒng)來檢測被測物體前、后表面或者通過反置被測物體的方法，影響了被測物體表面質(zhì)量檢測的效率，并且，通過兩套光學(xué)檢測系統(tǒng)增加了檢測成本，通過反置的方法由于定位或者擺放易對測物體表面造成影響。

實用新型內(nèi)容

鑒于以上所述，本實用新型有必要提供一種檢測效率高、成本低且在檢測中不易損壞被測物體的光學(xué)檢測系統(tǒng)。

此外，還有必要提供一種具有透射及反射光源的照明裝置。

一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡、成像單元以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述半反半透鏡將所述反射光源發(fā)出光線和/或所述透射光源發(fā)出的光線反射至成像單元。

其中，所述半反半透鏡具有入光面和出光面，該入光面朝向反射光源，反射光源與被測物體的連線與入光面呈45度夾角。

其中，所述光學(xué)檢測系統(tǒng)還包括全反射鏡，全反射鏡設(shè)置在半反半透鏡的一側(cè)，用以接收從半反半透鏡反射的光線并反射至成像單元，所述全反射鏡具有反射面，全反射鏡的反射面朝向半反半透鏡的出光面且與該出光面平行。

其中，所述光學(xué)檢測系統(tǒng)還包括運載平臺，所述運載平臺開設(shè)有孔，被測物體設(shè)置在運載平臺上，檢測時透射光源光線經(jīng)過孔照射到被測物體上。

其中，所述透射光源為光源模組，該光源模組包括散熱片、光源基板、光源以及擴散板，所述光源基板設(shè)置在散熱片上，所述光源設(shè)置在光源基板上，所述光源發(fā)出的光線透過擴散板射向被測物體。

其中，所述擴散板一表面或者相對的二表面為粗糙面。

其中，所述擴散板一表面為圓柱面或橢圓柱面。

其中，所述光源模組還包括機械擋片，機械擋片設(shè)置在擴散板上方，機械擋片外側(cè)面為粗糙面，內(nèi)側(cè)面為粗糙面或鏡面。

其中，所述機械擋片為一擋罩，擋罩呈喇叭狀設(shè)在擴散板上，所述擋罩較大口徑的一端與擴散板接觸，相對的一端形成為口徑尺寸較小的開口。

一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；反射光源設(shè)置在被測物體的一側(cè)，半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，透射光源設(shè)置在被測物體的另一側(cè)，反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述透射光源為光源模組，該光源模組包括光源、擴散板以及機械擋片，機械擋片設(shè)置在擴散板上并形成出光孔，光源設(shè)置在所述擴散板下方，使得光源發(fā)出的光線經(jīng)過擴散板后經(jīng)過機械擋片內(nèi)表面的反射而從出光孔匯聚散出照射至待測物體，所述反射光源位于機械擋片的上方，使得反射光源發(fā)出的光線經(jīng)過外表面的反射而減少進入出光孔的光線。

一種照明裝置，用于為檢測被測物體提供光照條件，該照明裝置包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)增強后透過被測物體并照射至半反半透鏡。

其中，所述透射光源包括擴散板，所述擴散板至少一表面為粗糙面，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡透過測物體表面在所述粗糙面處減弱，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)粗糙面增強后透過被測物體并照射至半反半透鏡。