[實用新型]利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220502583.4
• 申請日: 2012-09-27
• 公開（公告）號: CN202840237U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王峙皓;甘露;張淑珍
• 申請（專利權(quán)）人: 長春德信光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01S5/40
• 分類號: H01S5/40;H01S5/14
• 代理公司: 長春市吉利專利事務(wù)所 22206
• 代理人: 張紹嚴

1.一種利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于包括：半導(dǎo)體激光器模塊（1，1’），場鏡（2，2’），光柵（3），外腔反窺鏡（4，4’），半波片（5），反射鏡組（61，62），偏振分光棱鏡（7），其半導(dǎo)體激光器模塊（1，1’）與外腔反窺鏡（4，4’）分別組成兩個激光振蕩腔，其中：

半導(dǎo)體激光器模塊（1，1’）由半導(dǎo)體激光器（14）、快軸準直鏡（15）和慢軸準直鏡（16）組成；

單元光束入射到光柵（3）的振動方向與光柵（3）要求的偏振方向相匹配；

半導(dǎo)體激光器模塊（1，1’）、場鏡（2，2’）和光柵（3）的位置關(guān)系滿足：半導(dǎo)體激光器模塊（1，1’）和光柵（3）分別位于場鏡（2，2’）的前后焦平面處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：半導(dǎo)體激光器（14）為多個激光單管組合，或為激光列陣，或由激光列陣組成的激光線陣或迭陣，或者是多個激光線陣或迭陣的組合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：半導(dǎo)體激光器（14）輸出激光一端的腔面膜反射率<0.5%，另一端的腔面膜反射率>95%；該半導(dǎo)體激光器（14）輸出激光束的偏振度>95%。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：半導(dǎo)體激光器（14）的材料增益波長覆蓋半導(dǎo)體激光器所有能激射波長，包括從紫外到紅外，其排列方式沿著光譜合束方向單調(diào)變化；半導(dǎo)體激光器（14）為多個激光單元組合時，激光單元材料相互之間相同或不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：光柵（3）為透射或反射式，只存在1級衍射或只存在-1級衍射，衍射效率>90%，并具有高損傷閾值，達到10KW/cm²量級。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：外腔反窺鏡（4，4’）為部分反射鏡，反射率為5%~15%，并與光柵（3）產(chǎn)生的衍射光的傳輸方向垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用單光柵外腔反饋實現(xiàn)多半導(dǎo)體激光合束的裝置，其特征在于：半波片（5）和偏振分光棱鏡（7）為寬波帶元件，其使用光譜范圍大于外腔反饋鏡（4，4’）輸出偏振激光束（8，8’）的光譜寬度，并具有高損傷閾值，要求激光連續(xù)工作模式下，大于10KW/cm²。