[實用新型]壓力傳感器溫度特性的測試裝置

有效

• 申請號: 201220501087.7
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN202853845U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 秦毅恒;趙敏;譚振新;張昕;明安杰;羅九斌
• 申請（專利權）人: 江蘇物聯網研究發展中心
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00;G01L25/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種電子器件測試裝置，具體涉及壓力傳感器溫度特性的測試裝置。

背景技術

壓力傳感器的測試，通常包括重復性、線性度、靈敏度、遲滯特性、零偏、零偏穩定性、零點溫漂、靈敏度溫度系數、滿度溫度系數等項目。這就需要在進行壓力傳感器測試時，不僅為壓力傳感器提供壓力激勵，而且需要同時提供一個可控的高低溫環境。目前已有的解決方案為：待測器件安裝在工裝夾具上，通過工裝夾具給待測器件提供壓力環境，同時，將封裝了待測器件的工裝夾具放置在高低溫試驗箱內，由高低溫試驗箱提供高低溫環境。這種解決方案的測試系統，體積大，比較零散，不夠集成；另外，該方案需要較長的時間來使測試環境溫度達到需要的設定值，影響測試效率。

實用新型內容

本實用新型克服了上述現有解決方案中測試裝置的缺點，提出了一種新型壓力傳感器溫度特性的測試裝置。本實用新型所采用的技術方案是：

一種壓力傳感器溫度特性的測試裝置，包括傳感器定位夾具和一個或多個溫控管道；

所述溫控管道包括加熱單元、制冷單元、絕熱外殼、導熱內壁、溫控管道第一開口、溫控管道第二開口；加熱單元和制冷單元設置于導熱內壁和絕熱外殼之間，環繞溫控管道的導熱內壁多圈，溫控管道第二開口的內徑與待測壓力傳感器氣體導管的外徑一致，外界氣體通過溫控管道第一開口充入溫控管道中形成溫控管道內氣體；

所述傳感器定位夾具上表面設有一個或多個凹陷的坑狀結構的傳感器定位槽，凹陷的坑狀結構的形狀與待測壓力傳感器的外形相匹配，待測壓力傳感器在測試時被置于傳感器定位槽內，待測壓力傳感器氣體導管向上放置，與溫控管道第二開口緊密裝配，待測壓力傳感器的敏感單元通過待測壓力傳感器氣體導管與溫控管道內的氣體相接觸；傳感器定位槽中配備有與待測壓力傳感器進行電氣連接的機構。

所述壓力傳感器溫度特性的測試裝置還包括狀態指示燈。所述傳感器定位夾具使用包含氮化鋁陶瓷或氧化鋁陶瓷或氮化硅陶瓷或氧化硅陶瓷的隔熱材料制作。所述絕熱外殼的材料為包含氮化鋁陶瓷或氧化鋁陶瓷或氮化硅陶瓷或氧化硅陶瓷的隔熱材料。所述導熱內壁的材料可以為銅、鋁或碳化硅陶瓷等導熱系數低的材料。

所述加熱單元可以是鉑電阻絲加熱器或其他電加熱裝置。所述制冷單元為由二元Bi₂Te₃-Sb₂Te₃和Bi₂Te₃-Bi₂Se₃固溶體兩種材料構成的半導體制冷器，也可以為其他材料構成的半導體制冷器或其他原理的冷卻裝置，如水冷裝置或氣冷裝置。

本實用新型與現有的壓力傳感器溫度特性的測試系統相比，優點在于：由于溫控管道的管內體積很小，環繞溫控管道的導熱內壁多圈的加熱單元和制冷單元在一定的加熱或冷卻功率下，溫控管道內氣體可以迅速升溫與降溫，從而使待測壓力傳感器的溫度能夠迅速達到需要的測試溫度，使用本實施例所述的裝置對壓力傳感器進行溫度特性測試中的溫控時間比使用壓力烘箱所需的數小時溫控時間要縮短很多，大大提高了測試效率，節約了時間成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的系統示意圖。

圖2是本實用新型的S-S剖視圖。

圖3是本實用新型實施例中的壓力傳感器敏感單元溫度隨時間變化曲線圖。

圖中：201-溫控管道，202-傳感器定位槽，203-傳感器定位夾具，204-狀態指示燈，205待測壓力傳感器，206-絕熱外殼，207-導熱內壁，208-加熱單元，209-制冷單元，210-溫控管道內氣體，211-溫控管道第一開口，212-待測壓力傳感器氣體導管，213-敏感單元，214-溫控管道第二開口。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1、圖2所示，一種壓力傳感器溫度特性的測試裝置包括：溫控管道201，傳感器定位夾具203，狀態指示燈204；所述溫控管道201包括：加熱單元208，制冷單元209，絕熱外殼206，導熱內壁207，溫控管道第一開口211，溫控管道第二開口214；加熱單元208和制冷單元209設置于導熱內壁207和絕熱外殼206之間，環繞溫控管道201的導熱內壁207多圈，溫控管道第二開口214的內徑與待測壓力傳感器氣體導管212的外徑一致，外界氣體通過溫控管道第一開口211充入溫控管道201中形成溫控管道內氣體210。