[實(shí)用新型]一種UV曝光機(jī)冷卻氣體處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220498038.2
• 申請(qǐng)日: 2012-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202823017U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭慶秋;楊明雄;周嬋華;徐斌;徐晶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)興（廣州）光電材料有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/00
• 分類號(hào): B01D46/00;B01D53/26;G01N21/78
• 代理公司: 廣州廣信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44261
• 代理人: 李玉峰

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣體處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于UV曝光機(jī)的冷卻氣體處理裝置。

背景技術(shù)

UV曝光機(jī)是指通過(guò)開(kāi)啟燈管發(fā)出UVA波長(zhǎng)的紫外線，將膠片或其它透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備，目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米材料等科技領(lǐng)域。

UV曝光機(jī)在使用過(guò)程中，由于其UV燈管持續(xù)發(fā)光發(fā)熱，因而需要對(duì)UV燈管進(jìn)行冷卻，以防燈管過(guò)熱導(dǎo)致燈管損壞或發(fā)生爆炸現(xiàn)象。目前現(xiàn)有技術(shù)對(duì)UV曝光機(jī)燈管所采用的冷卻方式通常為氣冷，即通過(guò)輸入冷卻壓縮氣體對(duì)燈管進(jìn)行冷卻。而曝光機(jī)中的UV燈管，對(duì)于輸入的冷卻壓縮氣體有著極高的要求，即不能含有水分和油污，否則對(duì)燈管可能造成較大的損害。為此，目前現(xiàn)有技術(shù)對(duì)用于冷卻UV曝光機(jī)燈管的壓縮氣體，一般采用過(guò)濾器對(duì)氣體進(jìn)行過(guò)濾以除去油污等雜質(zhì)，并采用以氧化鋁顆粒作為干燥劑的干燥器進(jìn)行干燥以除去水分，然后再進(jìn)入U(xiǎn)V曝光機(jī)內(nèi)部。然而，干燥劑使用一段時(shí)間后氧化鋁顆粒會(huì)失去效力，而上述方式無(wú)法及時(shí)有效地監(jiān)控到干燥器中的干燥劑氧化鋁顆粒是否已經(jīng)失效，因而不能有效控制輸入U(xiǎn)V曝光機(jī)中的冷卻壓縮氣體的品質(zhì)，從而無(wú)法有效保障UV曝光機(jī)的使用效果及安全。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可對(duì)冷卻氣體水分去除情況進(jìn)行有效監(jiān)控的UV曝光機(jī)冷卻氣體處理裝置，以有效控制輸入U(xiǎn)V曝光機(jī)冷卻氣體的品質(zhì)，從而保證UV曝光機(jī)的使用效果及安全。

本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：

本實(shí)用新型提供的一種UV曝光機(jī)冷卻氣體處理裝置，包括過(guò)濾器、干燥器；所述干燥器的出口端連接有水分指示器。本實(shí)用新型冷卻氣體經(jīng)過(guò)干燥器干燥處理后進(jìn)入水分指示器，可以通過(guò)觀察水分指示器的變化情況，監(jiān)測(cè)判斷干燥器對(duì)氣體水分的處理效果，以便能夠及時(shí)更換干燥劑，從而有效控制輸入U(xiǎn)V曝光機(jī)中冷卻氣體的品質(zhì)。

本實(shí)用新型可采取如下進(jìn)一步措施：所述過(guò)濾器連接在干燥器的進(jìn)口端；所述水分指示器的出口端與UV曝光機(jī)連接，即冷卻氣體先進(jìn)行過(guò)濾、然后再經(jīng)過(guò)干燥并經(jīng)水分指示器檢測(cè)，之后進(jìn)入U(xiǎn)V曝光機(jī)。或者，所述過(guò)濾器設(shè)置在水分指示器的出口端、而連接位于水分指示器和UV曝光機(jī)之間，即冷卻氣體先進(jìn)行干燥并經(jīng)水分指示器檢測(cè)、然后再進(jìn)行過(guò)濾，之后進(jìn)入U(xiǎn)V曝光機(jī)。

上述方案中，本實(shí)用新型所述水分指示器為硅膠變色指示器，其外殼為透明材料以便于直接觀察，內(nèi)裝有硅膠顆粒。由于硅膠顆粒吸水后即變色，因此可以直觀地監(jiān)測(cè)到氣體是否攜帶水分，從而判斷干燥劑是否已經(jīng)失效。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且原料普遍，易于實(shí)現(xiàn)。可有效監(jiān)控并及時(shí)判斷出干燥器中的干燥劑是否已經(jīng)失效，因而能夠有效控制輸入U(xiǎn)V曝光機(jī)中的冷卻壓縮氣體的品質(zhì)，從而有效保障UV曝光機(jī)的使用效果及安全。

附圖說(shuō)明

下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述：

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例之一的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例之二的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：壓力閥1，過(guò)濾器2，干燥器3，水分指示器4，水分指示器進(jìn)口端4a，水分指示器出口端4b，UV曝光機(jī)5，氧化鋁顆粒6，硅膠顆粒7。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例一：

圖1所示為本實(shí)用新型一種UV曝光機(jī)冷卻氣體處理裝置的實(shí)施例之一，包括依氣體進(jìn)入方向依次連接的壓力閥1、過(guò)濾器2、干燥器3、水分指示器4。如圖1所示，干燥器3的出口端與水分指示器4的進(jìn)口端4a連接，水分指示器4的出口端4b與UV曝光機(jī)5連接。

如圖1所示，干燥器3以氧化鋁顆粒6作為干燥劑，用于吸收冷卻壓縮氣體攜帶的水分。水分指示器4為硅膠變色指示器，其外殼為透明材料，內(nèi)裝有吸水會(huì)發(fā)生變色的硅膠顆粒7。