[實(shí)用新型]一種用于硅塊粘結(jié)的工裝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220494904.0
• 申請(qǐng)日: 2012-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202826122U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇蘭虎;王康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/04
• 分類號(hào): B28D7/04
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿;魏曉波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅塊切割技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于硅塊粘結(jié)的工裝。

背景技術(shù)

生產(chǎn)多晶硅片的過(guò)程中，一般需要采用特定的切割設(shè)備將硅塊切割成規(guī)定厚度的薄片，該薄片即為多晶硅片。

目前，多采用HCT(瑞士產(chǎn)多線切割設(shè)備)切割硅塊。切割的流程如下：首先，將細(xì)鋼線纏繞在切割設(shè)備機(jī)床的一套導(dǎo)輪周圍以便形成線網(wǎng)，并將硅塊按照一定工藝粘合在工件板上形成晶棒，將晶棒裝載在機(jī)床上；然后，機(jī)床緩慢下降晶棒至線網(wǎng)切割區(qū)域，并噴灑懸浮液至線網(wǎng)切割區(qū)域，再驅(qū)動(dòng)線網(wǎng)高速轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)懸浮液中的SiC對(duì)硅塊進(jìn)行研磨切割。

HCT單次一般能夠裝載四條晶棒，切割時(shí)，四條晶棒需要同時(shí)被線網(wǎng)切割，以滿足線網(wǎng)切割的負(fù)載需求，否則影響切割質(zhì)量，因此，HCT的機(jī)床上需要裝載長(zhǎng)度相同的四條晶棒。一般，硅塊的長(zhǎng)度(硅塊的橫截面是標(biāo)準(zhǔn)形狀)是一定的，或是一批硅塊的長(zhǎng)度是一定的，因此，機(jī)床上裝載的四條晶棒具有長(zhǎng)度和數(shù)目均一致的硅塊。但是，在鑄錠工序中，由于種種原因硅錠(硅塊由硅錠切割形成)四周會(huì)有雜質(zhì)，故切割形成的硅塊也含有雜質(zhì)，需要將雜質(zhì)超標(biāo)的硅塊利用帶鋸去除雜質(zhì)部分，導(dǎo)致硅塊的長(zhǎng)度不一。

帶鋸切割后的硅塊長(zhǎng)度雖然小于標(biāo)準(zhǔn)件的長(zhǎng)度，但其長(zhǎng)度滿足一定條件時(shí)，依然能夠被切割，為了使長(zhǎng)度不一且能夠被切割的硅塊得到充分利用，可以挑選有效切割長(zhǎng)度(各項(xiàng)參數(shù)符合切割要求的硅塊長(zhǎng)度)接近的硅塊，比如，若需切割一塊帶鋸處理后有效切割長(zhǎng)度為150mm的硅塊，必須再提供三塊切割長(zhǎng)度為150mm或150mm左右的硅塊形成一組，才能裝載在機(jī)床上同時(shí)進(jìn)行切割。然而，由于在鑄錠過(guò)程中雜質(zhì)的不可控性，被帶鋸去除雜質(zhì)后剩余的硅塊長(zhǎng)度并不一致，集齊四塊長(zhǎng)度相近的硅塊具備一定的難度，也需要一定的時(shí)間。這導(dǎo)致帶鋸處理后的硅塊大量存積，占用了庫(kù)房，而且對(duì)其進(jìn)行管理也需要大量的人力、物力，降低了產(chǎn)能。

因此，目前還采用粘結(jié)硅塊的方式，即將兩塊或者兩塊以上的帶鋸處理后的硅塊依次粘接形成一條晶棒，相較于上述方式，粘結(jié)方式更易于形成長(zhǎng)度一致的晶棒，在一定程度上解決了上述技術(shù)問(wèn)題，但同時(shí)產(chǎn)生了下述弊端：

主要依靠人工粘結(jié)硅塊，人工直接粘結(jié)具有不可控性，會(huì)出現(xiàn)粘結(jié)劑厚度不均、粘結(jié)時(shí)移位等現(xiàn)象，進(jìn)而導(dǎo)致硅塊無(wú)法沿長(zhǎng)度方向?qū)?zhǔn)粘結(jié)，從而無(wú)法保證硅塊的橫截面和切割鋼線組成的線網(wǎng)嚴(yán)格垂直，導(dǎo)致切割中硅片會(huì)掉落，掉落的硅片容易被高度運(yùn)轉(zhuǎn)的線網(wǎng)攜帶進(jìn)入導(dǎo)輪槽內(nèi)部，進(jìn)而引起跳線、斷線等現(xiàn)象；而且，人工粘結(jié)時(shí)，也無(wú)法保證粘結(jié)的硅塊完全對(duì)準(zhǔn)，即同一晶棒上的硅塊相對(duì)于切割線網(wǎng)的位置來(lái)說(shuō)可能高低不平，對(duì)線鋸機(jī)床切割運(yùn)行開(kāi)始時(shí)的入刀階段存在不良影響。

有鑒于此，如何粘結(jié)帶鋸處理后的硅塊，使其滿足切割需求，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于硅塊粘結(jié)的工裝，該工裝使得粘結(jié)后的硅塊能夠滿足切割需求。

本實(shí)用新型提供的用于硅塊粘結(jié)的工裝，包括用于置放硅塊的承載部和分別位于所述承載部?jī)啥说膿醢逡约巴茐翰?，硅塊沿其長(zhǎng)度方向排列于所述承載部時(shí)，所述推壓部能夠推壓硅塊以使硅塊沿其長(zhǎng)度方向移動(dòng)并夾持于所述擋板和所述推壓部之間。

優(yōu)選地，所述承載部包括直線滑軌和若干能夠沿所述直線滑軌滑動(dòng)的滑塊，硅塊沿其長(zhǎng)度方向排列于所述滑塊上；所述擋板朝向硅塊的板面垂直于所述直線滑軌，所述滑塊沿所述直線滑軌的滑動(dòng)方向與硅塊排列方向一致。

優(yōu)選地，所述直線滑軌的數(shù)目為兩條，兩所述直線滑軌上設(shè)有數(shù)目相對(duì)應(yīng)的所述滑塊，硅塊能夠承載于分別位于兩所述直線滑軌的所述滑塊之上。

優(yōu)選地，所述滑塊均具有45度的斜面，兩所述直線滑軌上所述滑塊的斜面相對(duì)設(shè)置，以使硅塊夾持于相對(duì)設(shè)置的所述滑塊的斜面之間。

優(yōu)選地，還包括底板，所述直線滑軌設(shè)于所述底板上。

優(yōu)選地，所述推壓部為推壓桿，所述底板上設(shè)有安裝支座，所述安裝支座設(shè)有螺紋孔，所述推壓桿的桿體設(shè)有與所述螺紋孔適配的螺紋，所述推壓桿的桿體插入于所述螺紋孔內(nèi)，所述推壓桿的一端面朝向所述擋板并能夠推壓硅塊。

優(yōu)選地，所述推壓桿朝向所述擋板的一端具有推壓盤，所述推壓盤的徑向尺寸大于所述桿體的徑向尺寸，所述推壓盤的盤面與所述擋板的板面平行。

優(yōu)選地，所述推壓桿上與所述推壓盤相對(duì)的一端具有旋轉(zhuǎn)把手。

優(yōu)選地，所述擋板朝向硅塊的一側(cè)板面上設(shè)有用于接觸硅塊的橡膠墊。

優(yōu)選地，所述擋板呈半圓形。