[實用新型]藍寶石單晶爐分段式鎢絲網加熱器

有效

• 申請號: 201220493992.2
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN202945379U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 李榮林;姜宏偉;毛瑞川;李輝
• 申請（專利權）人: 南京晶升能源設備有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/20;H05B3/10
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 程化銘

技術領域

本實用新型涉及一種鎢絲網加熱器，尤其是一種用于藍寶石單晶爐的能夠滿足藍寶石單晶生長所需梯度溫度場條件的一種分段式鎢絲網加熱器。?

背景技術

隨著全球新能源市場的迅速發展，LED產業逐漸成為能源工業新的增長點，已經具備了趕超其他節能產業的能力，在世界范圍內呈現迅猛發展之勢。?

藍寶石單晶爐是LED產業鏈中重要的晶體生長設備，由于藍寶石單晶體是在高溫的條件下緩慢生長而成的，需要良好的溫度梯度控制以形成冷心，同時需要均勻穩定的溫度場以實現單晶體的穩定生長，因此加熱器的溫度梯度可控基礎至關重要。目前，藍寶石單晶爐一般采用單一的鳥籠狀鎢桿加熱器，無法形成理想的梯度溫度場。同時，鎢桿經間隔排列后的數量有限，將會對熱場的均勻性產生影響。因此，采用鳥籠狀的鎢桿加熱器的藍寶石單晶爐生長出的晶體多半在65公斤以下，且晶體常因熱場紊亂產生大量裂紋或氣泡，晶體成品率較低，嚴重影響藍寶石長晶的生產效率。?

目前，在藍寶石單晶爐中采用分段式鎢絲網加熱器，并通過分別調節各段加熱器的功率輸出，以形成良好梯度溫度場未見諸報道。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于：針對現有藍寶石長晶爐的單一加熱器溫度梯度的不可控性、溫度場不均勻性，致使藍寶石單晶生長成品率低、尺寸小、質量不高等一系列問題，提供一種新型可靠的用于藍寶石單晶爐的分段式焊接鎢絲網加熱器。?

本實用新型的目的是這樣實現的：一種藍寶石單晶爐分段式鎢絲網加熱器，其特征在于：它由同軸心的上加熱器、中加熱器和下加熱器依次串聯而成，其中：?

a)上加熱器的上部和中加熱器的下部均至少設有三個均勻分布的鎢電極爪，每個鎢電極爪與兩片編織鎢絲網焊接相連，兩片編織鎢絲網之間用鎢絲彈簧間隔，上加熱器和中加熱器的交匯處設有鎢環；?

b)下加熱器設有三個均勻分布的下加熱器鎢電極爪，每個下加熱器鎢電極爪的上部與一片下加熱器編織鎢絲網的一端焊接，下加熱器編織鎢絲網的另一端匯集于下加熱器中央與鎢板焊接相連；?

c)上、中、下加熱器鎢電極爪均纏繞捆扎鎢絲，形成陽極；所述的鎢環和鎢板均為陰極。?

在本實用新型中：所述的上加熱器的上部和中加熱器的下部均設有六個均勻分布的鎢電極爪。?

在本實用新型中：鎢電極爪、鎢環和鎢板均為鎢粉末冶金后軋制形成的板型結構。?

在本實用新型中：所述的編織鎢絲網由相同規格的鎢鋁絲交錯編織而成。?

本實用新型的優點在于：由于采用編織密集且均勻的焊接式鎢絲網加熱器，有利于提高溫度場的均勻與穩定性；由于采用分段分組式加熱器，通過分別調節各段各組的工作狀態，改變加熱器功率的輸出，形成良好的溫度梯度，高效節能，晶體成品率大大提高；由于采用分段分組式加熱器，更有助于實現藍寶石單晶生長的自動化及程序化。?

附圖說明

圖1是本實用新型涉及實施例的整體結構示意圖；?

圖2是本實用新型涉及的上加熱器或中加熱器實施例的結構示意圖；?

圖3是本實用新型涉及的下加熱器的結構示意圖。?

圖中：1、上加熱器，2、中加熱器，3、下加熱器，4、鎢電極爪，5、編織鎢絲網，6、鎢絲彈簧，7、鎢環，8、下加熱器鎢電極爪，9、下加熱器編織鎢絲網；10、鎢板，11、捆扎鎢絲。?

具體實施方式

附圖非限制性地公開了本實用新型涉及的一種實施例的具體結構，下面結合附圖對本實用新型作進一步地描述。?

由圖1可見，該分段式鎢絲網加熱器是由同軸心的上加熱器1、中加熱器2和下加熱器3三段依次串聯而成，其中：上加熱器1的上部和中加熱器2的下部均至少設有三個均勻分布的鎢電極爪4，每個鎢電極爪4與兩片編織鎢絲網5焊接相連形成一組加熱器，組內的兩片編織鎢絲網5之間用鎢絲彈簧6間隔，上加熱器1和中加熱器2的交匯處設有鎢環7；下加熱器3設有三個均勻分布的下加熱器鎢電極?爪8，每個下加熱器鎢電極爪8的上部與一片下加熱器編織鎢絲網9的一端焊接，下加熱器編織鎢絲網9的另一端匯集于下加熱器3中央與鎢板10焊接；上、中、下加熱器鎢電極爪均纏繞捆扎鎢絲11，形成陽極，所述的鎢環7和鎢板10均為陰極。?

在本實施例中，所述的上加熱器1的上部和中加熱器2的下部均設有六個均勻分布的鎢電極爪4。鎢電極爪4、下加熱器鎢電極爪8、鎢環7和鎢板10均為粉末冶金后軋制形成的金屬鎢板。編織鎢絲網5、下加熱器編織鎢絲網9均由相同規格的鎢鋁絲交錯編織而成。?