[實用新型]一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置

有效

• 申請號: 201220493985.2
• 申請日: 2012-09-26
• 公開（公告）號: CN202945367U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 閆杰;李輝;毛洪英;姜宏偉
• 申請（專利權）人: 南京晶升能源設備有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 程化銘

技術領域

本實用新型涉及一種晶體生長用的籽晶裝置，尤其是一種用于泡生法藍寶石單晶爐晶體生長用的籽晶裝置。

背景技術

藍寶石單晶爐是LED產業鏈中重要的晶體生長設備。目前，世界上用于藍寶石單晶體生長的主流方法有以下幾種：導模法、提拉法、熱交換法和泡生法。泡生法在引晶、擴肩生長后的晶錠直徑較大，有利于生長出大尺寸、低缺陷密度、高品質的藍寶石單晶體，因此具有更大的優勢。

泡生法是將一根受冷的籽晶與三氧化二鋁熔液接觸后熔化。當界面的溫度低于凝固點，則籽晶開始生長，為了使籽晶晶體不斷長大，需逐漸降低熔體的溫度，同時旋轉籽晶裝置，以改善熔體的溫度分布。當晶體生長到一定階段時，須緩慢上提籽晶裝置，以擴大散熱面。因此，泡生法藍寶石單晶爐內的籽晶裝置的可靠性與穩定性至關重要。目前，用于泡生法晶體生長的籽晶裝置結構多樣，采用整體式金屬鎢制成的籽晶桿的結構，因鎢材料的脆性而很不利于加工；采用分體銷軸式金屬鎢制成的籽晶夾頭，未設置燕尾槽結構，而是通過鎢銷將籽晶裝配于籽晶夾頭上，不利于拆裝，且使用過程中安全可靠性不高。

目前，在泡生法藍寶石單晶爐中采用螺紋裝配式籽晶裝置，并在籽晶夾頭上設置與籽晶端部相吻合的燕尾槽，并通過捆扎鎢絲固定以預防籽晶使用過程中側滑的設計未見諸報道。

發明內容

本實用新型的目的在于：針對現有泡生法藍寶石長晶爐的籽晶裝置采用整體式籽晶桿不利于加工，分體銷軸式金屬鎢制成的籽晶夾頭，不利于拆裝，且使用過程中安全可靠性不高等問題，提供一種新型可靠的用于泡生法藍寶石單晶爐的籽晶裝置。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置，包括鎢桿、籽晶夾頭和籽晶,其特征在于：

?????a)鎢桿與籽晶夾頭設有對應的定位孔，鎢桿下端通過螺紋與籽晶夾頭連接后，通過貫穿于定位孔中的固定鎢絲定位；

?????b)籽晶夾頭中的籽晶裝配區一面為開口面，籽晶夾頭內部為梯形燕尾槽，籽晶上端為梯形結構，籽晶上端由開口面嵌入籽晶夾頭的梯形燕尾槽中，并通過捆扎鎢絲將它們固定連接。

????在本實用新型方案中：籽晶夾頭外圍沿截面至少設有一道用于捆扎鎢絲的凹槽，所述的捆扎鎢絲置于凹槽中。

????在本實用新型方案中：所述的鎢桿、籽晶夾頭均為金屬鎢材料的鍛造件，所述的固定鎢絲為鎢錸絲，所述的捆扎鎢絲為鎢鋁絲。

在本實用新型方案中：所述的籽晶的材料成分為高純三氧化二鋁單晶體。

本實用新型的優點在于：由于籽晶桿采用螺紋裝配結構，便于實現，提高了鎢桿及籽晶夾頭的可加工性能；由于籽晶夾頭采用燕尾槽結構與籽晶裝配，并用鎢鋁絲捆扎，易于拆裝和配合，且提高了籽晶裝置的安全可靠性。

附圖說明

圖1是本實用新型涉及的一種實施例結構示意圖；

圖2是圖1中實施例的側視圖。

圖中：1、鎢桿，2、籽晶夾頭，3、固定鎢絲，4、籽晶，5、捆扎鎢絲。

具體實施方式

附圖非限制性地公開了本實用新型涉及的一種實施例的具體結構，下面結合附圖對本發明的這一實施例作進一步地描述。

由圖1和圖2可見，鎢桿1與籽晶夾頭2設有對應的定位孔，鎢桿1下端通過螺紋與籽晶夾頭2連接后，通過貫穿于定位孔中的固定鎢絲3定位。籽晶夾頭2中的籽晶4裝配區一面為開口面，籽晶夾頭2內部為梯形燕尾槽，籽晶4上端為梯形結構，籽晶4上端由開口面嵌入籽晶夾頭2的梯形燕尾槽中，并通過捆扎鎢5絲將它們固定連接。

在本實施例中：籽晶夾頭2外圍沿截面至少設有一道用于捆扎鎢絲5的凹槽，所述的捆扎鎢絲5置于凹槽中。所述的鎢桿1、籽晶夾頭2均為金屬鎢材料的鍛造件，所述的固定鎢絲3為鎢錸絲，所述的捆扎鎢絲5為鎢鋁絲。所述的籽晶4的材料成分為高純三氧化二鋁單晶體。