[實用新型]一種擴散石英舟清洗槽

有效

• 申請號: 201220491380.X
• 申請日: 2012-09-25
• 公開（公告）號: CN202860906U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 蔡曉晨;王敬蕊
• 申請（專利權）人: 國電光伏（江蘇）有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

技術領域

本實用新型涉及一種清洗槽，特別是涉及一種用于清洗擴散石英舟的清洗槽。

背景技術

現有技術中，石英舟清洗槽作為清洗液的盛放容器，工人在清洗槽內倒入清洗液，然后將石英舟放入清洗槽體，清洗過程中，石英舟與清洗液幾乎沒有相對的運動，石英舟清洗以浸泡為主，如配備人員手工清洗將耗費大量人工而且也較難以達到很好的清潔效果。在過程中如果石英舟得不到全面的清洗，則會有污染物殘留，由于石英舟清洗不干凈，從而容易造成硅片在擴散過程被污染。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種擴散石英舟清洗槽，解決原有清洗槽僅僅作為清洗液的容器，無妨對擴散石英舟進行徹底清潔的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是這樣的，一種擴散石英舟清洗槽，包括槽體，其特征在于，所述槽體的兩個相對側面對稱設有承接器，所述承接器由底座和固定爪組成，所述固定爪為三根設置在底座圓周三等分處的圓柱體，其中一根圓柱體設有可彎折部，所述承接器通過軸承與槽體連接，所述槽體側面還設有電機，電機與承接器連接驅動其旋轉。

為了使石英舟能更加牢固地固定在承接器上，保證石英舟在旋轉時不脫落，所述固定爪設有膠質防滑套。

本實用新型所提供的技術方案的優點在于，利用承接器固定石英舟，并且通過電機的驅動使得石英舟在清洗槽內旋轉，達到增強清潔效果的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為承接器的結構示意圖；

圖3為承接器的側視圖。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。

一種擴散石英舟清洗槽，包括槽體1，槽體1的兩個相對側面對稱設有承接器2，承接器2由底座21和固定爪22組成，固定爪22為三根設置在底座圓周三等分處的圓柱體，其中一根圓柱體設有可彎折部23，固定爪22設有膠質防滑套24。承接器2通過軸承與槽體1連接，槽體1側面還設有電機3，電機3與承接器2連接驅動其旋轉。需清洗石英舟時，彎折固定爪2的可彎折部23，將石英舟4放置在承接器2內之后將可彎折部23復位，固定爪2將石英舟4固定，在清洗槽槽體1內倒入清洗液后，電機3驅動承接器2旋轉，即使得石英舟4在槽體1內同步旋轉，增強清潔效果。