[實用新型]具有局部互連金屬板的MOM電容器有效
| 申請號： | 201220491267.1 | 申請日： | 2012-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN203192792U | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發明（設計）人： | 陳向東;陳國順 | 申請（專利權）人： | 美國博通公司 |
| 主分類號： | H01L23/522 | 分類號： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 田喜慶 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 局部 互連 金屬板 mom 電容器 | ||
1.一種半導體管芯中的金屬-氧化物-金屬MOM電容器，其特征在于所述MOM電容器包括：?
共享平行于所述半導體管芯的第一金屬化層的平面并且位于其下方的平面的第一多個電容器極板以及第二多個電容器極板；?
在所述第一多個電容器極板與所述第二多個電容器極板之間的局部層間電介質；?
所述第一和第二多個電容器極板由用于連接位于所述第一金屬化層下方的器件層中形成的器件的局部互連金屬構成。?
2.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于進一步包括用于互連所述第一多個電容器極板的第一電容器導板，以及用于互連所述第二多個電容器極板的第二電容器導板，所述第一和第二電容器導板包括用于在所述器件層中形成的所述器件之間提供連接的另一種局部互連金屬。?
3.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述第一多個電容器極板進一步包括下部局部互連金屬，并且所述第二多個電容器極板進一步包括所述下部局部互連金屬。?
4.根據權利要求3所述的MOM電容器，其特征在于進一步包括用于互連所述第一多個電容器極板的第一電容器導板，以及用于互連所述第二多個電容器極板的第二電容器導板，所述第一和第二電容器導板包括用于在所述器件層中形成的所述器件之間提供連接的另一種局部互連金屬。?
5.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述局部互連金屬是難熔金屬鎢。?
6.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述局部互連金屬是銅。?
7.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述局部層間電介質是二氧化硅。?
8.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述局部層間電介質是氮化硅。?
9.根據權利要求1所述的MOM電容器，其特征在于所述第一和第二多個電容器極板位于所述器件層中形成的隔離區之上。?
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