[實用新型]MEMS結構缺陷的晶圓級自動檢測系統

有效

• 申請號: 201220491118.5
• 申請日: 2012-09-24
• 公開（公告）號: CN202794059U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 譚振新;秦毅恒;顧強;羅九斌;明安杰
• 申請（專利權）人: 江蘇物聯網研究發展中心
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.?一種MEMS結構缺陷的晶圓級自動檢測系統，其特征是：包括控制計算機（1）及用于放置待測晶圓（9）的晶圓平臺（5），所述晶圓平臺（5）通過晶圓平臺控制器（6）與控制計算機（1）相連；所述晶圓平臺（5）上放置有探針臺（7），所述探針臺（7）通過探針臺控制器（8）與控制計算機（1）相連；所述控制計算機（1）還與用于獲取固有頻率及圖像的測試模塊（4）電連接。

2.根據權利要求1所述的MEMS結構缺陷的晶圓級自動檢測系統，其特征是：所述測試模塊包括表面形貌儀（2）及激光測振儀（3）。