[實用新型]一種加速度計有效
| 申請號： | 201220488378.7 | 申請日： | 2012-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN202815008U | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 俞度立;于連忠;楊長春 | 申請（專利權）人： | 中國科學院地質與地球物理研究所 |
| 主分類號： | G01P15/08 | 分類號： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京金之橋知識產權代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建軍 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加速度計 | ||
【權利要求書】：
1.一種加速度計，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測量體包括框架、位于所述框架內的彈性梁和質量塊；其特征在于，所述質量塊與所述框架通過多組所述彈性梁相連接，每組所述彈性梁包括兩根彈性折疊梁,所述彈性折疊梁以所述質量塊的中線為軸對稱設置。
2.如權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述彈性折疊梁的兩末端位于同一直線上。
3.如權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述質量塊為矩形體，所述質量塊的橫截面為正方形。
4.如權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述彈性折疊梁的一端分別與所述質量塊的轉角處相連接。
5.如權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述測量體為雙面絕緣體上外延硅結構，包括上硅層、中間硅層及下硅層；每兩層硅層之間分別設置有二氧化硅層。
6.如權利要求5所述的加速度計，其特征在于，多個所述彈性梁分別對稱地成形于所述上硅層和所述下硅層，形成雙層結構。
7.如權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述測量體、所述上蓋板硅片及所述下蓋板硅片上分別設置有電極。
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