[實用新型]一種3D曝光裝置

有效

• 申請號: 201220487396.3
• 申請日: 2012-09-21
• 公開（公告）號: CN202794850U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 朱婉平
• 申請（專利權）人: 深圳市萬佳原絲印器材有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及精密光刻成像裝置，特別是涉及一種3D曝光裝置。

背景技術

目前的曝光裝置屬于精密光刻成像裝置中的，其是采用紫外光照射，使可接受某特定波長可感光的材料，在受到光照射的區域產生形成與菲林上圖案完全一致的裝置。現有的曝光裝置要么就是只有一個曝光臺，在曝光臺進入曝光區裝置內進行曝光時，只能等待其曝光完畢后拉出曝光臺取出曝光材料后再一次進行準備材料和抽真空之后再推入曝光區裝置內進行曝光。這樣的曝光裝置的缺點是曝光出產率比較低。還有一種曝光裝置是設置上下兩個曝光臺，其中一個曝光臺如上層曝光臺推入曝光區內曝光時，另一個曝光臺即下層可以做壓貼麥拉膜和抽吸真空的準備工作將曝光材料和曝光臺準備好，當曝光區內的上層曝光臺曝光完畢被拉出后，再將準備好的下層曝光臺推入曝光區內進行曝光處理。這樣的曝光裝置的優點是曝光出產效率提高一倍，但是由于曝光臺位于上下層，因此曝光的強度和時間不均勻，需要額外調節曝光時間，而且不能保證曝光的光能量對曝光材料照射的同量一致性。而且上述曝光臺都是只能是做普通平面材料的曝光，不能3D的精密曝光處理。

發明內容

本實用新型是為了解決現有技術中的不足而完成的，本實用新型的目的是提供結構簡單、在可以實現3D精密曝光的同時，保證高效曝光出產率和曝光的光能量對曝光材料照射的同量一致性，保證精密曝光和出產產品質量一致性的一種3D曝光裝置。

本實用新型的一種3D曝光裝置，包括機臺和設置在所述機臺上的曝光區裝置，所述曝光區裝置包括殼體和設置在所述殼體內部上方的曝光器，所述曝光區裝置兩側分別設置一個可沿同一水平面滑入或滑出所述殼體內的曝光臺，所述曝光臺包括底板、設置在底板上的玻璃臺面、一端鉸接于所述底板上的上蓋，所述上蓋下表面壓貼有耐拉膜，所述底板內設置抽真空導管，所述上蓋邊緣與所述底板邊緣密封連接，所述抽真空導管與抽真空裝置連接，所述至少一個曝光臺內的耐拉膜是由硅膠材料制成的硅膠耐拉膜。

本實用新型的一種3D曝光裝置還可以是：

所述兩個曝光臺內耐拉膜均是由硅膠材料制成的硅膠耐拉膜。

所述一個曝光臺內的耐拉膜是由硅膠材料制成的硅膠耐拉膜，另一曝光臺內的耐拉膜是由聚氯乙烯制成的聚氯乙烯耐拉膜。

所述上蓋邊緣與所述底板邊緣分別設置密封圈和密封墊，所述上蓋與所述底板蓋合，所述密封圈和所述密封墊擠緊在所述上蓋與所述底板邊緣處，所述密封圈與所述密封墊的表面彈性相抵。

所述密封圈為軟橡膠密封圈，所述密封墊為軟橡膠密封墊。

所述上蓋與所述底板之間通過鉸鏈連接。

所述上蓋邊緣設有不銹鋼框架。

所述曝光器為冷光紫外線燈。

所述冷光紫外線燈設置在一聚光反射罩內，所述冷光紫外線燈頂部設置排風扇。

所述曝光臺與所述殼體之間均設置安全光照明燈。

本實用新型的一種3D曝光裝置，由于包括機臺和設置在所述機臺上的曝光區裝置，所述曝光區裝置包括殼體和設置在所述殼體內部上方的曝光器，所述曝光區裝置兩側分別設置一個可沿同一水平面滑入或滑出所述殼體內的曝光臺，所述曝光臺包括底板、設置在底板上的玻璃臺面、一端鉸接于所述底板上的上蓋，所述上蓋下表面壓貼有耐拉膜，所述底板內設置抽真空導管，所述上蓋邊緣與所述底板邊緣密封連接，所述抽真空導管與抽真空裝置連接，所述至少一個曝光臺內的耐拉膜是由硅膠材料制成的硅膠耐拉膜。使用時，曝光區裝置一側的曝光臺先準備好后推入殼體內進行曝光處理，同時對位于曝光區裝置另外一側的曝光臺進行壓貼耐拉膜和抽真空等準備工作，當曝光區裝置內的曝光臺曝光完成后被拉出，然后將準備好的另一側的曝光臺推入曝光區裝置內進行曝光，在其曝光期間，將曝光后的曝光材料取下，然后再進行下一次曝光的準備工作，如此循環操作。同時由于至少一個曝光臺耐拉膜是由硅膠材料制成的硅膠耐拉膜，而硅膠耐拉膜是高彈性、高透明而且具有高度抗拉性的耐拉膜，其耐磨耐高溫，因此可以曝光3D圖像，實現整體曝光裝置能夠實現3D精密曝光。這樣，相對于現有技術而言具有的優點是結構比較簡單，在實現精密3D曝光的同時，提高了曝光出產效率，而且由于兩個曝光臺位于同一水平面上，因此，曝光材料與曝光器之間的距離是固定不變的，因此不需要額外調節曝光時間就可以保證曝光的光能量對曝光材料照射的同量一致性，保證了出產產品的效果和質量的一致性。

附圖說明

圖1本實用新型一種3D曝光裝置實施例示意圖。

圖號說明