[實用新型]一種多晶硅片清洗機熱水供應方式

有效

• 申請號: 201220486636.8
• 申請日: 2012-09-24
• 公開（公告）號: CN202860899U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 劉猛;張鳴劍;張紅光;林哲;李書聲;趙兵
• 申請（專利權）人: 北京京儀集團涿鹿光伏材料有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅片清洗機熱水供應方式。

背景技術

硅片清洗是多晶硅片生產中一個非常重要的環節，。微量污染會導致器件失效，所以多晶硅片須經嚴格清洗。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。

目前的硅片清洗機普遍采用超聲波清洗和加熱同時進行并加入堿對硅片進行清洗，在清洗過程中需要加入大量的熱水。行業內一般采用人工加水的方式為清洗機供應熱水，不僅增加了人工還存在一定的危險。

發明內容

為了克服現有技術中的缺點，本實用新型提供了一種多晶硅片清洗機熱水供應方式。既清洗機和大功率熱水器通過水泵連接，水泵將熱水從熱水器中抽出注入清洗機中。節約了人工并保證操作人員的安全。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：硅片清洗機和熱水器通過水泵連接：水泵進水口與熱水器出水管道相連，水泵出水口與清洗機超聲堿洗槽供水管道相連。水泵將熱水從熱水器中抽出注入清洗機中。熱水管道采用PPR材質，管道之間連接采用焊接方式。

附圖說明

附圖為己安裝熱水器的清洗機管道示意圖。

圖中1.熱水器，2.熱水器管道，3.泵，4.清洗機超聲堿洗槽，5.純進水總管道，6.全PPH球閥，7.PPH氣動球閥，8.堿總排污管道，9.污水處理裝置。

具體實施方式

結合附圖對本實用新型實施例進一步說明。

在清洗機4附近加裝一臺大功率熱水器1并長期運行，由純水管道5給熱水器1供水，熱水器1和清洗機4之間通過水泵3及PPR管道2連接。清洗機需要更換熱水時，先打開氣動球閥7使清洗機中的廢水通過排污管道8排入污水處理裝置9中，再開啟水泵3把熱水器1中熱水注入清洗機4超聲堿洗槽中完成換水過程。