[實用新型]附著有有機物薄膜的玻璃基板

有效

• 申請號: 201220483149.6
• 申請日: 2012-09-20
• 公開（公告）號: CN202808610U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 濱上耕
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03C17/28
• 分類號: C03C17/28;C03B17/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

技術領域

本實用新型涉及一種附著有有機物薄膜的玻璃基板。

背景技術

如專利文獻1（日本特開2001-276759號公報）所示，在以往用于液晶顯示器或等離子顯示器等顯示圖像用機器的玻璃基板的制造工藝中，玻璃基板成形后，為了去除附著在玻璃基板表面上的玻璃的微小粉末或磨料顆粒等異物，用酸性藥液或超聲波等對玻璃基板表面進行清洗處理。

專利文獻:

專利文獻1：日本特開2001-276759號公報

實用新型內容

但是，即使完成玻璃基板表面的清洗處理后的玻璃基板的表面為清潔度高的狀態，之后在搬運或保管玻璃基板時，異物或污垢會附著在玻璃基板的表面。其結果，在利用玻璃基板制造各種機器的階段，需要再次用藥液或超聲波清洗玻璃基板的表面。

本實用新型的目的在于，提供一種即使異物或污垢附著在表面，也可容易地將其去除的附著有有機物薄膜的玻璃基板。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板為其表面附著有鄰苯二甲酸酯的玻璃基板。該附著有有機物薄膜的玻璃基板的表面上，鄰苯二甲酸酯的平均附著量為0.5ng～15ng/1cm²，且表面的任意1cm²至少附著有0.1ng的鄰苯二甲酸酯。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板中，鄰苯二甲酸酯的分子量最佳為低于450。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板中，鄰苯二甲酸酯最佳為鄰苯二甲酸二（2-乙基己酯）。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板中，表面的粗糙度Ra值最佳為小于等于0.4nm。清洗玻璃基板時，玻璃基板表面的粗糙度越小，越容易從玻璃基板的表面去除鄰苯二甲酸酯。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板，最佳為形成有Cu系電極材料的顯示裝置用基板，該玻璃基板具有大于G5尺寸的表面面積，且厚度小于0.4mm。

本實用新型涉及的附著有有機物薄膜的玻璃基板，即使異物或污垢附著在其表面，也可容易地將其去除。依據本實用新型，有機EL用TFT顯示器或面向高清晰液晶TFT顯示器中，能夠降低因玻璃粉或碎玻璃引起的表面損傷或異物附著在玻璃基板表面。

因此，也可使用粘性低的配線/電極材料。例如，可使用與Al系電極或Cr、Mo電極等相比粘性低，但低電阻的Cu系電極材料。即，可擴大電極材料的選擇范圍，可解決大型顯示器中容易出現的RC遲延問題。而且，能夠提供可解決今后進一步高清晰的小型顯示器中可能出現的RC遲延問題的玻璃基板。

附圖說明

圖1為涉及本實施例的玻璃板制造裝置的整體結構圖；

圖2為涉及本實施例的被膜形成裝置的側視圖；

圖3為涉及本實施例的被膜形成裝置的側視圖；

圖4為表示涉及實施例的樣品基板的樣片位置概念圖；

圖5為涉及變形例C的玻璃基板被膜形成裝置的示意圖。

符號說明

10????????????被膜形成裝置

12????????????玻璃基板搬運裝置

14????????????玻璃基板被膜形成裝置

14a???????????被膜形成空間

14a1??????????搬入口

14a2??????????搬出口

14b1??????????第1空氣刀

14b2??????????第2空氣刀

14c????????????有機物噴嘴

100????????????玻璃板制造裝置

200????????????熔解槽

300????????????澄清槽

400????????????成形裝置

500????????????清洗槽

GS????????????玻璃基板

具體實施方式

＜實施例＞

（1）玻璃基板制造裝置的整體結構