[實用新型]可復用探針卡

有效

• 申請號: 201220481334.1
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN202794251U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 馬香柏
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本實用新型涉及一種半導體集成電路制造裝置，特別是涉及一種集成電路可復用探針卡。

背景技術

在集成電路測試中，探針卡是自動測試儀與待測器件的接口。在使用過程中，每個產品焊盤位置固定，所以探針卡針的位置也是固定的，一個產品對應一張針卡。在產品數量比較多且更新換代比較快的情況，針卡會堆積，用完了也無法重復利用，導致浪費。如圖1所示，為公知的探針卡結構示意圖，其探針3是通過樹脂4固定在陶瓷環5上，而陶瓷環5通過增強板1固定在印刷電路板2上，其采用螺栓6進行固定，即探針相對于芯片焊盤的位置是固定的。可是不同產品有不同的焊盤位置以及大小，這樣一個產品只能對應一張針卡。在產品數量比較多且更新換代比較快的情況，針卡會堆積，用完了也無法重復利用，導致浪費。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種可復用探針卡,能實現重復利用。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種可復用探針卡，包括調節裝置、固定探針裝置、固定針座裝置和探針，所述調節裝置通過固定針座裝置固定在印刷電路板上方，所述固定探針裝置活動連接在所述調節裝置上，探針可插拔的安裝在固定探針裝置上。

進一步的，所述調節裝置有一底座，底座上有一通孔，用于安裝所述固定針座裝置，在所述底座上方固定連接有調節裝置主體，在調節裝置主體上設置有X旋鈕、Y旋鈕、Z旋鈕，分別用于調節連接器在X軸、Y軸及Z軸上進行微動。

進一步的，所述固定探針裝置活動連接在所述調節裝置主體。

進一步的，所述固定探針裝置有一可插拔孔。

進一步的，所述固定針座裝置為一個或多個。

進一步的，所述印刷電路板設置有多個通孔，用于安裝所述固定針座裝置。

進一步的，所述通孔之間的距離為5mm-50mm。

進一步的，所述探針為錸鎢針。

進一步的，所述探針針尖大小為1微米-30微米。

本實用新型可復用探針卡可以重復利用：可以根據不同產品的焊盤位置，調整探針的位置，并做相應微調以及固定，實現多產品復用的功能。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明:

圖1是公知的探針卡結構示意圖；

圖2是本實用新型可復用探針卡結構示意圖；

圖3是本實用新型可復用探針卡調節裝置示意圖；

圖4是本實用新型可復用探針卡使用狀態平面示意圖。

主要附圖標記說明：

增強板1????????印刷電路板2

探針3??????????樹脂4

陶瓷環5????????螺栓6

調節裝置21?????固定探針裝置22

固定針座裝置23?印刷電路板24

探針25?????????底座211

通孔212????????連接器213

X旋鈕214???????Y旋鈕215

Z旋鈕216???????調節裝置主體217

通孔41?????????待測器件A

具體實施方式

為使貴審查員對本實用新型的目的、特征及功效能夠有更進一步的了解與認識，以下配合附圖詳述如后。

如圖2所示，為本實用新型可復用探針卡結構示意圖，包括調節裝置21、固定探針裝置22、固定針座裝置23及探針25；所述調節裝置21通過固定針座裝置23固定在印刷電路板24上方，所述固定針座裝置23可以為絕緣螺栓或者絕緣螺絲，所述的固定針座裝置23為可拆卸的，可以根據需要將可復用探針卡固定在不同的位置；所述固定探針裝置22活動連接在所述調節裝置21上，固定探針裝置22上裝置有探針可插拔孔（圖上未標出），探針25插在固定探針裝置22里面，探針可以為錸鎢針，針尖大小可以為1微米-30微米之間。其中固定探針裝置22采用外圈絕緣內圈導電的材料，從而使探針25插進去之后，實現導電。

如圖2、圖3所示，調節裝置21包括底座211，底座211上有一通孔212，用于安裝固定針座裝置23，在底座211上方固定連接有調節裝置主體217，在調節裝置主體217上設置有X旋鈕214、Y旋鈕215、Z旋鈕216，用于分別調節連接器213在X軸、Y軸及Z軸上進行微動。固定探針裝置22活動連接在調節裝置主體217上并與連接器213可滑動接觸，當X旋鈕214、Y旋鈕215、Z旋鈕216控制連接器213進行微動時，同時驅動固定探針裝置22運動，從而帶動探針25運動。其中底座211采用為絕緣材料制成。