[實(shí)用新型]一種用于區(qū)熔法生長(zhǎng)硅單晶的籽晶夾持器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220480830.5
• 申請(qǐng)日: 2012-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN202849587U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅林堅(jiān);曹建偉;王丹濤;陳明杰;石剛;歐陽鵬根;邱敏秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B13/00
• 分類號(hào): C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于區(qū)熔法生長(zhǎng)硅單晶的籽晶夾持器，包括柱狀的籽晶夾頭本體，其底部開有向內(nèi)的空腔；其特征在于，在籽晶夾頭本體的上部沿軸向開有一個(gè)缺口，該缺口具有兩個(gè)相交的軸向切割面；該籽晶夾持器還包括一個(gè)籽晶夾頭滑塊，具有下述結(jié)構(gòu)中的任意一種：

（1）籽晶夾頭滑塊呈條狀，具有兩個(gè)側(cè)面；在兩個(gè)側(cè)面的交匯處沿長(zhǎng)度方向開有缺口，該缺口具有兩個(gè)相交的切割面，各切割面分別與一個(gè)側(cè)面相交；該籽晶夾持器還包括一個(gè)套筒，所述籽晶夾頭本體和籽晶夾頭滑塊均位于套筒內(nèi)部，籽晶夾頭滑塊置于籽晶夾頭本體的缺口內(nèi)，且籽晶夾頭滑塊的缺口與籽晶夾頭本體的缺口相對(duì)；在與籽晶夾頭本體的缺口后側(cè)相對(duì)應(yīng)的套筒上設(shè)有籽晶夾頭調(diào)整螺釘，籽晶夾頭調(diào)整螺釘貫穿套筒壁設(shè)置；或者，

（2）籽晶夾頭滑塊的外形呈柱狀，其內(nèi)部開設(shè)軸向的通孔，所述籽晶夾頭本體貫穿于通孔內(nèi)；沿通孔內(nèi)壁的軸向設(shè)有凸臺(tái)，凸臺(tái)具有兩個(gè)側(cè)面；在兩個(gè)側(cè)面的交匯處沿軸向開設(shè)有缺口，該缺口具有兩個(gè)相交的切割面，各切割面分別與一個(gè)側(cè)面相交；在與籽晶夾頭本體的缺口后側(cè)相對(duì)應(yīng)的籽晶夾頭滑塊的壁上設(shè)有籽晶夾頭調(diào)整螺釘，籽晶夾頭調(diào)整螺釘貫穿籽晶夾頭滑塊的壁設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭本體的缺口的兩個(gè)軸向切割面是垂直相交的；所述籽晶夾頭滑塊兩個(gè)側(cè)面是相互垂直的；所述籽晶夾頭滑塊的缺口的切割面是垂直相交的；所述籽晶夾頭滑塊的缺口的切割面與兩個(gè)側(cè)面之間是垂直相交的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述的籽晶夾頭本體呈圓柱狀；所述籽晶夾頭本體的缺口的截面呈扇形，其最大半徑為籽晶夾頭本體橫截面直徑的1/2～3/5。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭滑塊的中心線，籽晶夾頭調(diào)整螺釘?shù)闹行木€和籽晶夾頭本體的中心線位于同一平面內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭本體底部的空腔是沿軸向開設(shè)的，該空腔呈圓柱形或錐形。