[實用新型]一種用于區熔法生長硅單晶的籽晶夾持器

有效

• 申請號: 201220480830.5
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN202849587U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 傅林堅;曹建偉;王丹濤;陳明杰;石剛;歐陽鵬根;邱敏秀
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于區熔法生長硅單晶的籽晶夾持器，包括柱狀的籽晶夾頭本體，其底部開有向內的空腔；其特征在于，在籽晶夾頭本體的上部沿軸向開有一個缺口，該缺口具有兩個相交的軸向切割面；該籽晶夾持器還包括一個籽晶夾頭滑塊，具有下述結構中的任意一種：

（1）籽晶夾頭滑塊呈條狀，具有兩個側面；在兩個側面的交匯處沿長度方向開有缺口，該缺口具有兩個相交的切割面，各切割面分別與一個側面相交；該籽晶夾持器還包括一個套筒，所述籽晶夾頭本體和籽晶夾頭滑塊均位于套筒內部，籽晶夾頭滑塊置于籽晶夾頭本體的缺口內，且籽晶夾頭滑塊的缺口與籽晶夾頭本體的缺口相對；在與籽晶夾頭本體的缺口后側相對應的套筒上設有籽晶夾頭調整螺釘，籽晶夾頭調整螺釘貫穿套筒壁設置；或者，

（2）籽晶夾頭滑塊的外形呈柱狀，其內部開設軸向的通孔，所述籽晶夾頭本體貫穿于通孔內；沿通孔內壁的軸向設有凸臺，凸臺具有兩個側面；在兩個側面的交匯處沿軸向開設有缺口，該缺口具有兩個相交的切割面，各切割面分別與一個側面相交；在與籽晶夾頭本體的缺口后側相對應的籽晶夾頭滑塊的壁上設有籽晶夾頭調整螺釘，籽晶夾頭調整螺釘貫穿籽晶夾頭滑塊的壁設置。

2.根據權利要求1所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭本體的缺口的兩個軸向切割面是垂直相交的；所述籽晶夾頭滑塊兩個側面是相互垂直的；所述籽晶夾頭滑塊的缺口的切割面是垂直相交的；所述籽晶夾頭滑塊的缺口的切割面與兩個側面之間是垂直相交的。

3.根據權利要求1或2所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述的籽晶夾頭本體呈圓柱狀；所述籽晶夾頭本體的缺口的截面呈扇形，其最大半徑為籽晶夾頭本體橫截面直徑的1/2～3/5。

4.根據權利要求3所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭滑塊的中心線，籽晶夾頭調整螺釘的中心線和籽晶夾頭本體的中心線位于同一平面內。

5.根據權利要求3所述的籽晶夾持器，其特征在于，所述籽晶夾頭本體底部的空腔是沿軸向開設的，該空腔呈圓柱形或錐形。