[實用新型]一種用于區熔爐的觀察窗口

有效

• 申請號: 201220480005.5
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN202913080U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 石剛;歐陽鵬根;傅林堅;曹建偉;陳明杰;王丹濤;邱敏秀
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

技術領域

本實用新型是關于一種非金屬晶體的制造設備中的一個部分，特別涉及一種用于區熔爐的觀察窗口。

背景技術

區熔爐是一種新型的單晶硅生長爐，它利用線圈將原料硅棒局部加熱熔化，熔區依靠熔硅的表面張力和加熱線圈提供的磁托浮力而處于懸浮態，然后從熔區下方利用旋轉著的籽晶將熔硅拉制成單晶硅。

區熔爐工作時，需要拉晶人員對熔區進行觀查，并實時調整功率，轉速等，才能順利地引晶成功。因此區熔爐上需要有一個窗口供拉晶人員觀察，而熔硅輻射的大量熱和玻璃意外爆裂會對觀察人員造成傷害，此外區熔爐工作時內部充有高壓的惰性氣體，其爐體的密封性能必須十分良好，現有的玻璃窗口不能滿足要求。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足，提供一種能承受高溫高壓，并且密封性良好的觀察窗口。為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于區熔爐的觀察窗口，包括窗口玻璃，所述觀察窗口還包括壓板和墊片；所述壓板包括內層壓板、中層壓板和外層壓板，窗口玻璃包括內層玻璃和外層玻璃；內層玻璃安裝于內層壓板和中層壓板之間，外層玻璃安裝于中層壓板和外層壓板之間，墊片安裝于壓板和窗口玻璃之間；所述中層壓板上有進水口和出水口，進水口位于中層壓板的下方，出水口位于中層壓板的上方。

作為進一步的改進，所述內層壓板通過焊接或者螺釘固定于區熔爐爐體，中層壓板通過螺釘固定于內層壓板，外層壓板通過螺釘固定于中層壓板。

作為進一步的改進，所述壓板為環狀結構，且至少具有一個沉肩。

作為進一步的改進，所述墊片包括三片氟橡膠墊片和一片聚四氟乙烯墊片，三片氟橡膠墊片分別安裝于內層壓板和內層玻璃之間、內層玻璃和中層壓板之間、中層壓板和外層玻璃之間，一片聚四氟乙烯墊片安裝于外層玻璃和外層壓板之間。

作為進一步的改進，所述氟橡膠墊片內徑大于壓板內孔直徑，外徑小于壓板沉肩直徑，厚度為2～8毫米。

作為進一步的改進，所述聚四氟乙烯墊片內徑大于壓板內孔直徑，外徑小于壓板沉肩直徑，厚度為2～8毫米。

作為進一步的改進，所述窗口玻璃為能至少承受10兆帕壓力、軟化點在650～1100℃的玻璃。

作為進一步的改進，所述內層玻璃厚度至少為20毫米，外層玻璃厚度至少為10毫米。

作為進一步的改進，所述壓板為金屬或者非金屬材質的壓板。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

高強度的玻璃能承受高溫高壓，氟橡膠保證其良好的密封性，水冷卻結構降低了拉晶人員受到的熱輻射，從而有利于拉制出高質量的單晶硅。

附圖說明

圖1為本實用新型中的觀察窗的結構剖視圖。

圖2為本實用新型中的觀察窗的正面視圖。

圖中的附圖標記為：1內層壓板；2中層壓板；3外層壓板；4聚四氟乙烯墊片；5外層玻璃；6內層玻璃；7氟橡膠墊片；8出水口；9進水口。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述：

圖1中，一種用于區熔爐的觀察窗口，包括內層壓板1、中層壓板2、外層壓板3、內層玻璃5、外層玻璃6、氟橡膠墊片7和聚四氟乙烯墊片4。內層玻璃6安裝于內層壓板1和中層壓板2之間，外層玻璃5安裝于中層壓板2和外層壓板3之間。所述壓板為環狀結構，內層壓板1和外層壓板3都各有一個沉肩，中層壓板2有兩個沉肩。

氟橡膠墊片7有三片，分別安裝于內層壓板1和內層玻璃6之間、內層玻璃6和中層壓板2之間、中層壓板2和外層玻璃5之間，聚四氟乙烯墊片4安裝于外層玻璃5和外層壓板3之間。氟橡膠墊片7和聚四氟乙烯墊片4的內徑大于壓板內孔直徑，外徑小于壓板沉肩直徑，厚度為2～8毫米。由于壓板多為不銹鋼等金屬材質，與窗口玻璃直接壓住易造成窗口玻璃的碎裂，因此外層壓板3與外層玻璃5間墊聚四氟乙烯墊片4可降低玻璃碎裂的可能性。

內層壓板1通過焊接或者螺釘固定于區熔爐爐體，中層壓板2通過螺釘固定于內層壓板1，外層壓板3通過螺釘固定于中層壓板2。當螺釘擰緊，三片氟橡膠墊片7就會被壓緊，為爐體和兩層玻璃間的水腔提供良好的密封效果。螺釘的緊松可決定氟橡膠墊片7的預壓縮量，越緊密封效果越好，但氟橡膠的使用壽命將降低，且由于螺釘還需承受爐體內正壓，因此預緊力不宜過高。