[實用新型]一種激光劃刻機中用的氣浮系統

有效

• 申請號: 201220479752.7
• 申請日: 2012-09-20
• 公開（公告）號: CN202763297U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 樊成源;安麗娜;楊然翔;邢麗芬
• 申請（專利權）人: 東旭集團有限公司;成都泰軼斯太陽能科技有限公司
• 主分類號: B23K26/42
• 分類號: B23K26/42;B23K26/36
• 代理公司: 石家莊眾志華清知識產權事務所(特殊普通合伙) 13123
• 代理人: 王苑祥

1.一種激光劃刻機中用的氣浮系統，結構中包括設置在機臺（1）上面、帶有充氣孔的氣浮平臺，及循環式充氣系統，其特征在于：所述的循環式充氣系統的結構中包括：充氣管路（3）、與機臺（1）上設置的回氣口連接的回氣管路（2）、及空氣凈化裝置，回氣管路（2）的輸出端與空氣凈化裝置的輸入端連接，空氣凈化裝置的輸出端與充氣管路（3）的進氣口連接，借助管理電路控制空氣凈化裝置形成空氣循環凈化系統。

2.根據權利要求1所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的空氣凈化裝置的結構中包括借助氣體管路首尾順次連接的初級過濾器（4）、帶有冷卻水輸入/輸出管路的壓力泵（5）及初級熱交換器（6）、次級熱交換器（7）、冷卻水收集器（8）、次級過濾器（9），初級過濾器（4）的輸入端與回氣管路（2）的輸出端連接，次級過濾器（9）的輸出端與充氣管路（3）的進氣口連接。

3.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的初級過濾器（4）中還設置有第一壓差傳感器（11）及蜂鳴器，第一壓差傳感器（11）的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接，蜂鳴器的受控端與管理電路的控制端連接。

4.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的壓力泵（5）中還設置有變頻器（12），變頻器（12）的控制端借助連接線與壓力泵（5）的受控端連接。

5.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的次級熱交換器的冷卻水管路（15）上還設置有流量控制電磁閥（16），流量控制電磁閥（16）的受控端與管理電路連接。

6.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的冷卻水收集器（8）的結構中包括冷卻水收集腔室、設置在冷卻水收集腔室內部的百葉窗、及與冷卻水收集腔室相連的抽水泵（13），百葉窗的受控端與管理電路連接。

7.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的次級過濾器（9）上還設置有第二壓差傳感器（14），第二壓差傳感器（14）的信號輸出端與管理電路連接。

8.根據權利要求2所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的充氣管路（3）上還設置有溫濕度計（10），溫濕度計（10）的信號輸出端與管理電路的信號輸入端連接。

9.根據權利要求1所述的一種激光劃刻機中用的氣浮系統，其特征在于：所述的氣浮平臺上的充氣孔是均勻排布的。