[實用新型]一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統

有效

• 申請號: 201220478763.3
• 申請日: 2012-09-19
• 公開（公告）號: CN202766302U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 張偉;陳喜清;陳朝霞;葉冬梅;張吉武
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅生產領域，具體涉及改良西門子法生產多晶硅的尾氣回收領域。

背景技術

在改良西門子法生產多晶硅的尾氣回收系統，氫化尾氣及還原尾氣回收系統中高壓解析區的解析塔塔釜排出的高溫貧液氯硅烷通過換熱器水冷后，再用泵進行輸送。合成尾氣回收系統中高壓解析區塔釜再沸器使用蒸汽進行加熱，具體流程如下：

氫化尾氣或還原尾氣回收系統高壓區：在解析塔塔釜，富液氯硅烷通過解析塔塔釜再沸器被蒸汽加熱至120～150℃進行解析，被解析后的120～150℃貧液氯硅烷通過再沸器冷卻器進行換熱后，降溫至30～40℃再通過泵進行輸送至下一設備。在解析塔塔頂，-40氯化氫液體被采出，送至汽化器進行電加熱汽化。

合成尾氣回收系統高壓區：在合成解析塔塔釜，富液氯硅烷通過合成解析塔釜再沸器被蒸汽加熱至110～125℃進行解析，被解析后的110～125℃貧液氯硅烷通過合成再沸器冷卻器進行換熱后，降溫至40℃再通過泵進行輸送至下一設備。

在上述過程中氫化或還原貧液氯硅烷攜帶大量熱量需要冷媒進行逐漸冷卻消耗冷量，而合成富液氯硅烷需要熱源進行加熱消耗熱量。但在目前工藝中合成尾氣回收系統合成解析塔再沸器采用蒸汽熱源進行加熱解析，從這里我們也可以發現氫化尾氣或還原尾氣回收系統中解析后的120～150℃貧液氯硅烷所攜帶的熱量未進行有效利用，氫化尾氣、還原尾氣回收系統及合成尾氣回收系統熱能綜合利用不合理。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對生產多晶硅的改良西門子法中尾氣干法回收系統熱能利用不合理性，提供一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統，降低合成尾氣回收系統的能耗。

本實用新型的目的通過以下技術方案來具體實現：

一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統，包括合成解析塔再沸器和冷卻器，所述合成解析塔再沸器的熱流體入口與120～150℃的氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器的熱流體出口與所述冷卻器連通。

在所述合成解析塔再沸器的熱流體入口和熱流體出口之間的管道上安裝有旁路閥。

本實用新型實現合成尾氣熱能回收系統中合成解析塔塔釜采用120～150℃氫化或還原貧液氯硅烷作為熱源進行塔釜加熱，減少了合成尾氣熱能回收系統蒸汽的消耗，有效的利用了氫化或還原尾氣回收系統中解析后的120～150℃貧液氯硅烷所攜帶的熱量。

附圖說明

下面根據附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

圖1是本實用新型實施例所述多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統的結構圖。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型實施例所述的多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統，包括合成解析塔再沸器1和冷卻器2，所述合成解析塔再沸器1的熱流體入口與120～150℃的氫化或還原貧液氯硅烷入口連通，所述合成解析塔再沸器1的熱流體出口與所述冷卻器2連通。

在所述合成解析塔再沸器1的熱流體入口和熱流體出口之間的管道上安裝有旁路閥3。

本實用新型實現多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統中合成解析塔塔釜采用120～150℃氫化或還原貧液氯硅烷作為熱源進行塔釜加熱，減少了合成尾氣熱能回收系統蒸汽的消耗，有效的利用了氫化或還原尾氣回收系統中解析后的120～150℃貧液氯硅烷所攜帶的熱量。