[實用新型]一種高效率激光干涉光路系統

有效

• 申請號: 201220470815.2
• 申請日: 2012-09-17
• 公開（公告）號: CN202770409U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 陶小凱;李明
• 申請（專利權）人: 山東神戎電子股份有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01P3/36;G01P15/00;G02B27/28
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 李桂存

1.一種高效率激光干涉光路系統，其特征在于：窄線寬線偏振激光器產生的線偏振光經偏振分光棱鏡Ⅰ后分為測量光和參考光，測量光經1/4波片Ⅰ后形成圓偏振光由反射面Ⅰ反射回來再次經1/4波片Ⅰ后形成線偏振光Ⅰ，參考光經1/4波片Ⅱ后形成圓偏振光由反射面Ⅱ反射回來再次經1/4波片Ⅱ后形成線偏振光Ⅱ，線偏振光Ⅰ和線偏振光Ⅱ于偏振分光棱鏡Ⅰ上合束成一束兩個相互垂直的線偏振光Ⅲ，線偏振光Ⅲ經偏振分光棱鏡Ⅱ后分成線偏振光Ⅳ和線偏振光Ⅴ，線偏振光Ⅳ經1/2波片成為與線偏振光Ⅴ振動方向相同的線偏振光Ⅵ，線偏振光Ⅵ和線偏振光Ⅴ相交合束產生干涉。

2.根據權利要求1所述的高效率激光干涉光路系統，其特征在于：所述線偏振光Ⅵ經反射面Ⅱ變向90°和線偏振光Ⅴ平行且對稱地射入凸透鏡會聚相交產生干涉。

3.根據權利要求1所述的高效率激光干涉光路系統，其特征在于：所述線偏振光Ⅴ經反射面Ⅱ變向90°和線偏振光Ⅵ平行且對稱地射入凸透鏡會聚相交產生干涉。

4.根據權利要求2或3所述的高效率激光干涉光路系統，其特征在于：所述干涉的光強變化信號通過光電探測器捕獲。

5.根據權利要求2或3所述的高效率激光干涉光路系統，其特征在于：所述反射面Ⅰ為平面鏡、反射棱鏡或金屬拋光面，所述反射面Ⅱ為平面鏡、反射棱鏡或金屬拋光面。

6.根據權利要求1、2或3所述的高效率激光干涉光路系統，其特征在于：所述線偏振光Ⅵ和線偏振光Ⅴ的振動方向和頻率均相同。