[實用新型]一種大行程、高精度的微動臺

有效

• 申請號: 201220468603.0
• 申請日: 2012-09-14
• 公開（公告）號: CN202771265U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 袁慶丹
• 申請（專利權）人: 袁慶丹
• 主分類號: G05D3/00
• 分類號: G05D3/00
• 代理公司: 佛山市永裕信專利代理有限公司 44206
• 代理人: 楊啟成

1.一種大行程、高精度的微動臺，其特征在于包括宏運動部分、微運動部分、微電腦控制裝置，宏運動部分包括直線導軌、由精密滾珠絲杠機構帶動的宏動臺、光柵測量器，微運動部分包括設置在宏動臺上的微動驅動機構、由微動驅動機構帶動的工件固裝置、激光干涉測量儀，光柵測量器的電信號輸出、激光干涉測量儀的電信號輸出分別與微電腦控制裝置的電信號輸入相連，微電腦控制裝置的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構的控制電信號輸入、微動驅動機構的控制電信號輸入相連。

2.根據權利要求1所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于微動驅動機構包括設置在宏動臺上的三套以上的三自由度移動單元、三套微動動力裝置，三自由度移動單元包括固定在宏動臺上的導槽、通過第一導軌滑動設置在導槽上的中間構件、轉動設置在中間構件上的轉盤、設置在轉盤上的第二導軌、通過導槽滑動設置在第二導軌上的基座，第二導軌與第一導軌相互垂直，其中兩相鄰的三自由度移動單元的第一導軌相互平行，并垂直于另外的三自由度移動單元的第一導軌，微動動力裝置包括固定在宏動臺上的立柱、設置在立柱與中間構件間的壓電陶瓷。

3.根據權利要求2所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于三自由度移動單元呈多邊形分布，多邊形的邊的數量與三自由度移動單元的數量相同。

4.根據權利要求2所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于三自由度移動單元是三套，三套三自由度移動單元呈三角形分布。

5.根據權利要求4所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于三套三自由度移動單元呈等邊三角形分布。

6.根據權利要求1或2或3或4或5所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于在中間構件與宏動臺間連接有柔性鉸接。

7.根據權利要求1或2或3或4或5所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于微電腦控制裝置包括PC控制器、宏運動控制板、微運動控制板，光柵測量器的電信號輸出、激光干涉測量儀的電信號輸出分別與宏運動控制板的電信號輸入、微運動控制板的電信號輸入相連，宏運動控制板的控制電信號輸出、微運動控制板的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構上的伺服驅動板的控制電信號輸入、壓電陶瓷上的壓電陶瓷驅動器的控制電信號輸入相連，PC控制器的電信號通信端分別與宏運動控制板的電信號通信端、微運動控制板的電信號通信端相連。

8.根據權利要求6所述的大行程、高精度的微動臺，其特征在于微電腦控制裝置包括PC控制器、宏運動控制板、微運動控制板，光柵測量器的電信號輸出、激光干涉測量儀的電信號輸出分別與宏運動控制板的電信號輸入、微運動控制板的電信號輸入相連，宏運動控制板的控制電信號輸出、微運動控制板的控制電信號輸出分別與精密滾珠絲杠機構上的伺服驅動板的控制電信號輸入、壓電陶瓷上的壓電陶瓷驅動器的控制電信號輸入相連，PC控制器的電信號通信端分別與宏運動控制板的電信號通信端、微運動控制板的電信號通信端相連。