[實用新型]一種微型光譜儀

有效

• 申請號: 201220465465.0
• 申請日: 2012-09-13
• 公開（公告）號: CN202770763U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 吳礪;林磊;林志強;凌吉武;張新漢
• 申請（專利權）人: 福州高意光學有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01J3/28
• 代理公司: 福建煉海律師事務所 35215
• 代理人: 許育輝

1.一種微型光譜儀，包括輸入端、準直單元、光柵組、MEMS反射鏡、光會聚元件、光欄和光探測器，其特征在于：還包括微驅動單元；所述光柵組包括多個不同波段的光柵；微驅動單元帶動光柵組切換使用不同波段的光柵工作；檢測光由輸入端輸入，經準直單元準直之后入射到光柵組的光柵上，經光柵色散，不同波長的檢測光分別以不同的角度入射到MEMS反射鏡上，再以不同的角度被反射到光會聚元件上，不同波長的檢測光被會聚并入射到光欄上，最后經光欄選擇的光譜由光探測器接收。

2.如權利要求1所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述光柵組還包括一轉盤，所述多個不同波段的光柵繞轉盤圓周設置；所述微驅動單元帶動轉盤轉動。

3.如權利要求1所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述光柵組還包括一移動板，所述多個不同波段的光柵排列設置于移動板上；所述微驅動單元帶動移動板移動。

4.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述微驅動單元為微型步進電機。

5.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述光柵為透射光柵或反射光柵。

6.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述光會聚元件為柱面透鏡或柱面反射鏡。

7.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述光欄的孔徑為微米量級。

8.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述輸入端為一光纖連接頭；所述準直單元為一準直透鏡。

9.如權利要求1-3任一項所述一種微型光譜儀，其特征在于：所述輸入端、準直單元、光柵組、MEMS反射鏡、光會聚元件、光欄、光探測器和微驅動單元安裝于一光譜儀殼體內。