[實用新型]一種薄片型貴金屬靶的加工結構

有效

• 申請號: 201220462130.3
• 申請日: 2012-09-11
• 公開（公告）號: CN203003498U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 范亮;王欣平;江軒;尚再艷;熊曉東
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司
• 主分類號: B23Q3/00
• 分類號: B23Q3/00;B24B41/06
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 史雙元

技術領域

本實用新型屬于薄膜工藝中靶體加工裝置范圍，特別涉及一種薄片型貴金屬靶的加工結構。

技術領域

隨著科學技術的發展，薄膜工藝作為制作電子器件常用的方法獲得了廣泛的應用，在半導體工藝，太陽能，磁記錄，液晶顯示，光學和裝飾等高科技領域得到了大規模的應用。而用于制作薄膜的靶材也得到了長足的發展。其中貴金屬靶材的應用十分普遍。貴金屬成本高，加工損耗大，金屬軟，要達到精確的尺寸較為困難，用戶往往要求制作的靶材均為薄型結構，以降低其占用的成本。任何一個貴金屬加工廠商都想盡可能的減少貴金屬的投料數量以期減少貴金屬所占用的資金成本，但投料不足卻難以產出成品。于此同時要盡可能的避免加工過程中的損耗，貴金屬較軟，對于較薄的工件，夾持變形往往難以避免，這往往使工件報廢；若采用粘接固定的方法可以選用的材料很多。常用的可靠方法為銦焊，即將貴金屬和夾持支撐板在銦的熔點以上焊接上，然后再進行機加工。采用金屬焊料的方法雖然可以較好的固定住薄金屬片和支撐板，但貴金屬浸潤性良好，焊料很容易和貴金屬之間發生擴散，薄片很容易發生合金化從而污染貴金屬靶材，且很難脫離掉焊料，即使去掉了焊料，焊料容易劃傷焊接面

對于傳統的首飾行業的貴金屬加工而言，Au，Ag，Pt，Pd或其合金的生產大多采用手工作業的方式來進行機械加工，對于制作長寬在100-400mm，厚度1-10mm的薄片型的貴金屬加工，效率很低，精度也幾乎很難達到現在工業所需要的要求。而對于采用現在工藝的車，銑，刨，鉗，磨等工藝，往往存在較大的機械夾持力，如專利CN200620148447.4。薄型工件常常容易變形，尤其是質軟的純貴金屬，普通夾持肯定變形，且殘留加持痕跡，對高精度靶材而言，不能達到使用要求。現代機械加工往往通過制作專門的胎具或者夾具來加工容易變形的工件。這需要提前專門為特定形狀的工件設計和制作精密的裝卡胎具或模具，耗時耗力，成本高，工期長。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術中貴金屬較軟，對于較薄的工件，夾持變形往往難以避免，往往使工件報廢的不足，而提出一種薄片型貴金屬靶的加工結構，其特征在于，在靶材1和支撐板3之間涂覆一層粘接劑2。

所述靶材為單質貴金屬靶材，靶材尺寸在100-400mm。厚度在1-5mm之間，Hv在5-30。

所述靶材為Au，Ag，Pt，Pd或其合金

所述支撐板為采用鐵板或鎳板等有良好軟磁性能的支撐板，其平面度在0.05-0.5之間，表面光潔度在3.2-0.8um，邊長為100-400mm，厚度為8-30mm。

所述粘接劑為502膠，

本實用新型的有益效果是所采用的加工結構的材料均為常見的材料，取用方便，成本低。普通鐵板用以支撐薄片貴金屬，在機加工時可以夾持鐵板用以固定。在磨削作業時，可以用磨床的電磁鐵吸住鐵板從而固定住貴金屬靶材對其加工，可以方便快捷的固定薄片型貴金屬靶材，在加工過程中不會對貴金屬有任何的劃傷，擠壓變形。

附圖說明

圖1為薄片型貴金屬靶的加工結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型提出一種薄片型貴金屬靶的加工結構。下面結合附圖和實施例對本實用新型予以進一步說明。

在圖1所示的薄片型貴金屬靶的加工結構示意圖中，在靶材1和支撐板3之間涂覆一層粘接劑2；該粘接劑采用502膠；因為502膠是以α－氰基丙烯酸乙酯為主，加入增粘劑、穩定劑、增韌劑、阻聚劑等，?通過先進生產工藝合成的單組份瞬間固化粘合劑。其無色透明流動性良好，無毒，不可燃，易揮發，遇水即聚合固化。固化速度快、使用方便、粘接力強、粘接材料廣泛，可用于鋼鐵、有色金屬、橡膠、皮革、塑料、陶瓷、玻璃、木材等，廣泛用于電器、儀表、機械、電子、光儀、醫療、輕工民用等行業。其粘接剪切強度可達20-30Mp，完全可以滿足非劇烈機械加工的要求。黏合劑502膠水用來粘接貴金屬和鐵板操作簡單，方便，強度可以滿足加工的要求。當完成粘接以后，可以將支撐板夾持住進行線切割，車加工，磨削加工等常見的機械加工，由于不曾接觸到貴金屬薄板，因此不會將貴金屬表面劃傷，也不會將其夾持變形。

當加工完成以后，將貴金屬靶材和支撐板一起加熱到120-150℃，或將其浸泡在丙酮或異丙醇中超聲3-10分鐘，靶材和支撐板亦可脫落。502膠水是一種是一種瞬間膠，只要用溶解的有機溶劑就可以，用丙酮或異丙醇擦拭可以快速的將膠水溶解于其中，這樣得到的靶材表面光潔，無污染，尺寸精確；這種加工結構對靶材無污染，對靶材沒有損傷變形的威脅，可以節省貴金屬資源。

實施例