[實用新型]一種化學品供應系統用三通箱

有效

• 申請號: 201220461966.1
• 申請日: 2012-09-11
• 公開（公告）號: CN202909995U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 簡建至;胡厚福
• 申請（專利權）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

[技術領域]

本實用新型涉及半導體制造技術領域，具體地說是一種化學品供應系統用三通箱。

[背景技術]

隨著我國半導體行業的繼續發展,芯片生產線在我國也已開始越來越規模化，其目的是實現對芯片上的雜質、微粒子進行清洗等。而作為半導體制程前端的化學品供應系統，其工作中的任何問題都可能會造成無法估量的損失,因此為了不斷提高化學品供應系統的穩定性和可靠性，半導體制造廠商已越來越重視該制程中的每一個化學品供應設備。根據目前化學品供應系統所使用的情況，現有技術中大多采用雙向控制閥門來實現雙向控制，而由于該閥門的結構復雜、成本高、重量大、安裝麻煩以及安裝條件受限制等原因，導致其操作起來非常困難，使用很不方便。為了解決此類問題，人們一直在尋求一種更理想的技術解決方案。

[實用新型內容]

本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種化學品供應系統用三通箱，不僅結構簡單，設計合理，構思巧妙，而且成本低，控制靈活，安裝和使用都非常方便。

為實現上述目的設計一種化學品供應系統用三通箱，包括箱體1和箱體蓋2，所述箱體1與箱體蓋2密封連接，所述箱體1內設置有手動閥3，所述箱體1上部的一側設有進口4，所述箱體1上部的另一側設有出口5，所述箱體1下側設有出口二6，所述箱體1的進口4與出口5通過管道7相連，所述手動閥3的進口端通過管道7連接箱體1的進口4與出口5，所述手動閥3的出口端連接箱體1的出口二6。

所述箱體1內側下方設置有泄漏偵測器。

所述箱體1的進口4設置有進口連接管道8，所述箱體1的出口5、出口二6分別設置有出口連接管道9。

所述箱體1與箱體蓋2之間設有O型密封圈。

本實用新型同現有技術相比，結構新穎、簡單，設計合理，構思巧妙，避免了傳統的雙向控制閥門所帶來的結構復雜、成本高、重量大、安裝麻煩以及安裝條件受限制等困難，方便了半導體制程中芯片清洗等工作步驟；因此，本實用新型所述的化學品供應系統用三通箱不僅成本低，控制靈活，而且安裝和使用都非常方便，值得推廣應用。

[附圖說明]

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖中：1、箱體??2、箱體蓋??3、手動閥??4、進口??5、出口??6、出口二??7、管道??8、進口連接管道??9、出口連接管道。

[具體實施方式]

下面結合附圖對本實用新型作以下進一步說明：

如附圖所示，本實用新型包括：箱體1和箱體蓋2，所述箱體1與箱體蓋2密封連接，所述箱體1與箱體蓋2之間設有O型密封圈，所述箱體1內設置有手動閥3，所述箱體1上部的一側設有進口4，所述箱體1上部的另一側設有出口5，所述箱體1下側設有出口二6，所述箱體1的進口4與出口5通過管道7相連，所述手動閥3的進口端通過管道7連接箱體1的進口4與出口5，所述手動閥3的出口端連接箱體1的出口二6，所述箱體1的進口4設置有進口連接管道8，所述箱體1的出口5、出口二6分別設置有出口連接管道9，所述箱體1內側下方設置有泄漏偵測器。

本實用新型中，箱體采用PP材質制成，箱體外殼采用CPVC材質制成，箱體與箱體蓋之間設有O型密封圈，利用該O型密封圈，實現了箱體與箱體蓋之間的密封連接。

本實用新型所述的化學品供應系統用三通箱能夠適用于酸堿類化學品，其管道采用PFA材質制成，該三通箱的進口、出口分別通過進口連接管道、出口連接管道與化學品供應系統的主管路相連，該三通箱的出口二通過出口連接管道與化學品供應系統的閥箱相連。

本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內。