[實用新型]閘流管充氣系統

有效

• 申請號: 201220459183.X
• 申請日: 2012-09-11
• 公開（公告）號: CN202758840U
• 公開（公告）日: 2013-02-27
• 發明（設計）人: 黃俊杰
• 申請（專利權）人: 昆山國力真空電器有限公司
• 主分類號: H01J9/395
• 分類號: H01J9/395
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德

1.一種閘流管充氣系統，包括置于密封腔（1）內的閘流管（2），其特征在于：所述閘流管通過管道連通一儲氫罐（5），且在閘流管和儲氫罐之間的管道上依次設有工位閥（3）和充氫微調閥（4）；所述儲氫罐又通過管道連接到一第一金屬氫化物儲氫器（9），在該儲氫罐和第一金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設有進氫閥（6）、第一隔離閥（7）和第一儲氫閥（8）；在所述進氫閥和第一隔離閥之間的管道上依次設有兩管道支路，該兩管道支路上分別設有連接閥（10）和清空閥（11）；所述儲氫罐上設有第一薄膜真空計（12）；所述閘流管和工位閥之間的管道上設有第二薄膜真空計（13）。

2.根據權利要求1所述的閘流管充氣系統，其特征在于：?所述儲氫罐還通過管道連通到第二金屬氫化物儲氫器（16）。

3.根據權利要求2所述的閘流管充氣系統，其特征在于：?在所述進氫閥和第一隔離閥之間設一管道支路連通到所述第二金屬氫化物儲氫器，且在該進氫閥到第二金屬氫化物儲氫器之間的管道上依次設有第二隔離閥（14）和第二儲氫閥（15）。

4.根據權利要求3所述的閘流管充氣系統，其特征在于：在所述第二隔離閥和第二儲氫閥之間的管道上設有第二微調閥（17）。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統，其特征在于：在所述第一隔離閥和第一儲氫閥之間的管道上設有第一微調閥（18）。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統，其特征在于：在工位閥和儲氫罐之間的管道上還設有一充氫閥（19）；在所述工位閥和充氫閥之間的管道上設一管道支路連通到所述密封腔內，且該管道支路上依次設有抽氫閥（20）和鐘罩電磁閥（21），另在該抽氫閥和鐘罩電磁閥之間的管道上設有第一機械泵（22）。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統，其特征在于：在所述工位閥和充氫微調閥之間的管道上還設有一管道支路，該管道支路上依次設有總閥（23）、分子泵（24）和第二機械泵（25）。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統，其特征在于：在所述密封腔內還設有兩支路管道，該兩支路管道上分別設有充氣電磁閥（26）和放氣電磁閥（27）。

9.根據權利要求1至4中任一項所述的閘流管充氣系統，其特征在于：所述密封腔為金屬烘箱形成。