[實用新型]基于二氧化釩納米線的納米材料導熱系數的測量系統

有效

• 申請號: 201220458222.4
• 申請日: 2012-09-11
• 公開（公告）號: CN202770798U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 范雯;季杰
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G01N25/20
• 分類號: G01N25/20
• 代理公司: 合肥金安專利事務所 34114
• 代理人: 金惠貞

1.基于二氧化釩納米線的納米材料導熱系數的測量系統，其特征在于：包括二氧化釩納米線懸臂梁（12）、激光熱源機構（2）、光學顯微鏡機構（3）和真空壓力腔機構（1）；激光熱源機構（2）和光學顯微鏡機構（3）位于真空壓力腔機構（1）外部；所述真空壓力腔機構（1）包括真空壓力腔體，真空壓力腔體側面設有真空壓力腔進出口（14），真空壓力腔體頂部設有玻璃窗口（15）；所述真空壓力腔體內設有矩形承物臺（10），矩形承物臺上設有硅片基底（11）；所述二氧化釩納米線懸臂梁（12）的一端通過鉑金薄膜（13）固定連接著硅片基底（11），二氧化釩納米線懸臂梁（12）的另一端為懸臂端，二氧化釩納米線懸臂梁（12）與真空壓力腔體頂部的玻璃窗口（15）對應；所述光學顯微鏡機構（3）位于所述玻璃窗口（15）外部的上方；光學顯微鏡機構（3）由CCD圖像傳感器（30）、上凸透鏡（31）和下凸透鏡（32）組成，其中CCD圖像傳感器（30）位于上凸透鏡（31）的上方，下凸透鏡（32）與所述玻璃窗口對應；所述激光熱源機構（2）由依次排列的激光發生器（20）、半波偏振片（21）、偏振分束器（22）、透射式位相光柵（23）、濾光片（24）和折射鏡（25）組成，所述折射鏡（25）位于上凸透鏡（31）和下凸透鏡（32）之間，且與下凸透鏡（32）之間呈45度角；

????進行測量時，待測納米線懸臂梁（4）的一端通過鉑金薄膜（13）固定連接著硅片基底（11）；待測納米線懸臂梁（4）的另一端為懸臂梁，且通過鉑金薄膜（13）固定連接著二氧化釩納米線懸臂梁（12）的懸臂端。

2.根據權利要求1所述的基于二氧化釩納米線的納米材料導熱系數的測量系統，其特征在于：所述二氧化釩納米線懸臂梁（12）的長度為50-100μm，其矩形截面的寬度為0.5-1μm，高度為0.2-0.5μm，其在無應力狀態下被加熱至68℃時會發生半導體相至金屬相的相變。

3.根據權利要求1所述的基于二氧化釩納米線的納米材料導熱系數的測量系統，其特征在于：所述待測納米線懸臂梁（4）的直徑為1-1000nm，長度為50-200μm。

4.根據權利要求1所述的基于二氧化釩納米線的納米材料導熱系數的測量系統，其特征在于：所述硅片基底（11）上，二氧化釩納米線懸臂梁（12）和待測納米線懸臂梁（4）之間距離為10-20μm。