[實用新型]一種基于全息干涉術的光子晶體制造裝置

有效

• 申請號: 201220456025.9
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN202794592U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 沈少鑫;任雪暢;李彥雙;劉守
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: G02B6/138
• 分類號: G02B6/138;G02B5/32;G03F7/20
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所 35200
• 代理人: 馬應森;劉勇

1.一種基于全息干涉術的光子晶體制造裝置，其特征在于依次設有激光器，空間濾波器，全息光學元件，1/2波片和光刻膠板；

激光器發出的激光經過空間濾波器的擴束后照射到全息光學元件上，經全息光學元件產生四束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光學元件的其中1個出光口之后，入射1/2波片的線偏振光的振動方向與1/2波片晶體表面光軸間的角度為設定值，四束光重疊射在光刻膠板上，在光刻膠板上對四束光重疊的干涉結構進行單次曝光，經過顯影的流程即可得到大面積周期性間隙陣列結構的光子晶體。

2.如權利要求1所述的一種基于全息干涉術的光子晶體制造裝置，其特征在于所述全息光學元件為能夠產生二維周期性微結構的元件，該全息光學元件設有3個衍射光柵，3個衍射光柵呈扇形均布，使用時，在法向一側的不共面的三束光兩兩之間夾角互為120°；所述入射1/2波片的線偏振光的振動方向與1/2波片晶體表面光軸間的角度的設定值為15°～23.5°。

3.如權利要求1所述的一種基于全息干涉術的光子晶體制造裝置，其特征在于所述全息光學元件為能夠產生二維周期性微結構的元件，該全息光學元件設有3個衍射光柵，使用時，在法向一側的不共面三束光夾角均為60°，與法向另一側的光束夾角為120°；所述入射1/2波片的線偏振光的振動方向與1/2波片晶體表面光軸間的角度的設定值為45°。

4.如權利要求1所述的一種基于全息干涉術的光子晶體制造裝置，其特征在于所述激光器采用功率可調的氬離子激光器。