[實(shí)用新型]一種送片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220449220.9
• 申請(qǐng)日: 2012-09-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202905679U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 磨建新;謝鑫;劉大鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽(yáng);孫潔敏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及傳動(dòng)裝置，尤其涉及一種用于硅片鏈?zhǔn)角逑础⒖涛g輔助上

片設(shè)備的送片裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有硅片鏈?zhǔn)角逑础⒖涛g設(shè)備中的自動(dòng)送片裝置為保證硅片生產(chǎn)效率，使設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)過(guò)于復(fù)雜，復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)帶來(lái)設(shè)備制造、使用和維護(hù)成本的上升。因此如何簡(jiǎn)化設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低成本是業(yè)內(nèi)研發(fā)的技術(shù)問(wèn)題。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提出一種用于硅片鏈

式清洗、刻蝕輔助上片設(shè)備的送片裝置。

本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案是，設(shè)計(jì)一種送片裝置，包括：移動(dòng)組件、設(shè)置在移動(dòng)組件底部的至少三個(gè)支撐桿、設(shè)于支撐桿之間的吸盤(pán)、設(shè)于移動(dòng)組件下方的承載盒，和與吸盤(pán)配合的傳輸裝置，所述的移動(dòng)組件相對(duì)于所述的承載盒做上下移動(dòng)，抓取硅片，所述的移動(dòng)組件相對(duì)于傳輸裝置做水平移動(dòng)，將硅片放置在所述的傳輸裝置上。

所述的吸盤(pán)可以采用氣動(dòng)非接觸吸盤(pán)，或電磁非接觸吸盤(pán)。

所述的傳輸裝置可以采用皮帶傳動(dòng)裝置，或鏈?zhǔn)絺鲃?dòng)裝置。

多臺(tái)送片裝置可以并排設(shè)置。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型設(shè)備簡(jiǎn)單，使用和維護(hù)方便，大大提高了生產(chǎn)效率，降低了成本。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1所述，本實(shí)用新型一種送片裝置多臺(tái)并排設(shè)置，每臺(tái)送片裝置包括：移動(dòng)組件1、設(shè)置在移動(dòng)組件底部的至少三個(gè)支撐桿3、設(shè)于支撐桿之間的吸盤(pán)2、設(shè)于移動(dòng)組件下方的承載盒5，和與吸盤(pán)配合的傳輸裝置6。移動(dòng)組件相對(duì)于承載盒5做上下移動(dòng)，抓取硅片，移動(dòng)組件相對(duì)于傳輸裝置做水平移動(dòng)，將硅片放置在傳輸裝置6上。

圖2所示的實(shí)施例中，采用五組送片裝置并排設(shè)置的結(jié)構(gòu)。移動(dòng)組件1移

動(dòng)到A處，然后下降到一定位置將硅片吸起，再上升、橫移至B處放下硅片。由于五個(gè)非接觸吸盤(pán)同時(shí)吸片放片，簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)而減低設(shè)備的制造成本。

吸盤(pán)1可以采用氣動(dòng)非接觸吸盤(pán)，或電磁非接觸吸盤(pán)。傳輸裝置7可以采用皮帶傳動(dòng)裝置，或鏈?zhǔn)絺鲃?dòng)裝置。

本實(shí)用新型工作時(shí)采用下列步驟：

第一步：移動(dòng)組件1橫移到吸盤(pán)工位A處；

第二步：移動(dòng)組件1下降一定高度，非接觸吸盤(pán)2通氣，吸起硅片；

第三步：移動(dòng)組件1上升一定高度并橫移到放片工位B處；

第四步：非接觸吸盤(pán)2停止通氣，放下硅片；

第五步：?通過(guò)傳動(dòng)裝置6將硅片送走。

本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置五個(gè)并排的送片裝置大大提高了生產(chǎn)效率。由于五個(gè)非接觸吸盤(pán)同時(shí)吸片放片，簡(jiǎn)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)而減低設(shè)備的制造成本。

上述實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和變化，這些變形和變化都應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。