[實(shí)用新型]一種帶顯示功能的反應(yīng)機(jī)臺(tái)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220448808.2
• 申請日: 2012-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN202839557U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉忠篤
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種帶顯示功能的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，所述反應(yīng)機(jī)臺(tái)包括一控制裝置、一外壁及所述外壁圍成的反應(yīng)腔，所述反處應(yīng)腔內(nèi)放置待處理基片，其特征在于：所述外壁外表面設(shè)置一顯示裝置，所述控制裝置包括一參數(shù)接收端和一控制端，所述參數(shù)接收端用于測量所述反應(yīng)腔內(nèi)的參數(shù)，所述控制端和所述顯示裝置相連，所述控制端將所述參數(shù)接收端測得的反應(yīng)腔內(nèi)的參數(shù)在所述顯示裝置上顯示為對應(yīng)的參數(shù)數(shù)值或相應(yīng)的圖形表示。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述的控制裝置包括一可編輯的輸入端口，所述可編輯的輸入端口根據(jù)輸入的指令在所述顯示裝置上顯示反應(yīng)腔內(nèi)不同參數(shù)情況。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述的顯示裝置為LED顯示裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述外壁包括可開關(guān)的門，所述的顯示裝置為位于所述外壁門上方的長條狀LED顯示裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一權(quán)利要求所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述的顯示裝置包括一個(gè)或一個(gè)以上長條狀的LED顯示管，所述控制端包括一個(gè)或一個(gè)以上的控制電路，每個(gè)所述的LED顯示管連接一個(gè)所述控制電路。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一權(quán)利要求所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述的顯示裝置為位于所述外壁外表面的LED顯示屏，所述顯示屏用于顯示所述反應(yīng)腔內(nèi)的相應(yīng)參數(shù)的數(shù)值或圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述反應(yīng)腔內(nèi)的參數(shù)包括溫度、壓力、氣體流速和基片轉(zhuǎn)速中的一種或幾種。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述顯示裝置顯示的反應(yīng)腔內(nèi)的參數(shù)為溫度參數(shù)，根據(jù)所述溫度范圍的不同，所述顯示裝置呈現(xiàn)不同的顏色，每種顏色在不同的溫度下呈現(xiàn)不同的亮度。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述顯示裝置顯示的反應(yīng)腔內(nèi)的參數(shù)為溫度參數(shù)，所述顯示裝置包括三個(gè)長條狀的LED顯示管，所述控制端包括三個(gè)控制電路，三個(gè)長條狀的LED顯示管根據(jù)所述控制電路的控制，分別顯示藍(lán)、綠、紅三種顏色，每種顏色的亮度隨溫度升高而加強(qiáng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述控制端和所述顯示屏相連，將所述參數(shù)接收端測得參數(shù)信息在顯示屏上顯示為相應(yīng)的數(shù)值。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述反應(yīng)機(jī)臺(tái)為等離子體刻蝕機(jī)臺(tái)或化學(xué)氣相沉積反應(yīng)機(jī)臺(tái)或外延層生長反應(yīng)機(jī)臺(tái)中的一種。