[實用新型]一種全自動上芯機的自動撐膜裝置有效
| 申請號: | 201220447179.1 | 申請日: | 2012-08-31 |
| 公開(公告)號: | CN202772117U | 公開(公告)日: | 2013-03-06 |
| 發明(設計)人: | 施金佑 | 申請(專利權)人: | 佛山市南海區宏乾電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 528000 廣東省佛山市南海區桂*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 全自動 上芯機 自動 裝置 | ||
1.一種全自動上芯機的自動撐膜裝置,其特征在于:包括飼服電機(1)、X向運動機構(2)、Y向運動機構(3)、撐膜平臺(4)、氣缸(5)、撐膜環件(6)、撐膜機件(7),其中Y向運動機構(3)設置于X向運動機構上,并且X向運動機構(2)、Y向運動機構(3)分別各與一個飼服電機(1)相傳動連接;所述撐膜平臺(2)安裝于Y向運動機構(3)上;所述撐膜環件(6)設置于撐膜平臺(4)上,所述撐膜平臺(4)的四周邊角上分別各設置有一個氣缸(5),所述撐膜機件(7)的四周邊角分別相對應地與各氣缸(5)相連接,所述撐膜環件(6)的上部穿套于撐膜機件(7)中。
2.根據權利要求1所述全自動上芯機的自動撐膜裝置,其特征在于:所述X向運動機構(2)與Y向運動機構(3)分別由底板(8)、滑軌(9)、滑塊(10)、螺桿(11)、螺桿套(12)、螺桿支座(13)構成,所述Y向運動機構(3)的底板(8)固定安裝于X向運動機構(2)的滑塊(10)上,所述撐膜平臺(4)固定安裝于Y向運動機構(3)的滑塊(10)上。
3.根據權利要求1所述全自動上芯機的自動撐膜裝置,其特征在于:所述撐膜平臺(4)上設有環槽(14),所述撐膜環件(6)安裝于環槽(14)中。
4.根據權利要求1所述全自動上芯機的自動撐膜裝置,其特征在于:所述撐膜機件(7)中部設有供撐膜環件(6)穿套的通孔(15)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





