[實(shí)用新型]溫度控制系統(tǒng)及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備及半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220446134.2
• 申請(qǐng)日: 2012-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN202904399U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙輝;陳愛華;金小亮;張偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中晟光電設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G05D23/22
• 分類號(hào): G05D23/22;C23C16/52;C30B25/16
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

1.一種溫度控制系統(tǒng)，?其特征在于，該溫度控制系統(tǒng)包含：功率值計(jì)算單元（52）、功率值補(bǔ)償單元（53）、與功率值計(jì)算單元（52）和功率值補(bǔ)償單元（53）分別相連接的功率值相加單元（55）、以及和功率值相加單元（55）相連接的功率輸出單元（56）；

其中功率值計(jì)算單元（52）和若干測(cè)溫傳感器相連，所述若干測(cè)溫傳感器用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中各個(gè)加熱區(qū)域的溫度值；功率輸出單元（56）和加熱器（40）相連，加熱器（40）包含多個(gè)加熱單元；

功率值計(jì)算單元（52），用于根據(jù)所述若干測(cè)溫傳感器測(cè)得的溫度值，計(jì)算加熱器中各加熱單元（401）的加熱單元功率值，該加熱單元功率值以加熱過程中熱量損失為零的情況下獲得；

功率值補(bǔ)償單元（53），用于計(jì)算各加熱單元（401）的補(bǔ)償功率值，該補(bǔ)償功率值用于調(diào)整各加熱單元（401）的加熱單元功率值以補(bǔ)償加熱過程中的熱量損失；

功率值相加單元（55），分別連接功率值計(jì)算單元（52）和功率值補(bǔ)償單元（53），用于將功率值計(jì)算單元（52）輸出的加熱單元功率值和各個(gè)功率值補(bǔ)償單元（53）輸出的補(bǔ)償功率值對(duì)應(yīng)相加，得到各加熱單元（401）的實(shí)際功率值；

功率輸出單元（56），用于根據(jù)實(shí)際功率值向各加熱單元（401）輸出對(duì)應(yīng)功率。

2.如權(quán)利要求1所述的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度控制系統(tǒng)包含多個(gè)功率值補(bǔ)償單元（53），每個(gè)功率值補(bǔ)償單元（53）包含第一功率值補(bǔ)償單元（531）和第二功率值補(bǔ)償單元（532）中的至少一個(gè)；

第一功率值補(bǔ)償單元（531），和功率值相加單元（55）相連接，用于計(jì)算對(duì)應(yīng)加熱區(qū)域的加熱區(qū)域熱損失功率值，作為對(duì)應(yīng)加熱單元的補(bǔ)償功率值輸出至功率值相加單元（55）；

第二功率值補(bǔ)償單元（532），和功率值相加單元（55）相連接，用于計(jì)算對(duì)應(yīng)加熱單元（401）的加熱單元熱損失功率值，作為對(duì)應(yīng)加熱單元的補(bǔ)償功率值輸出至功率值相加單元（55）。

3.如權(quán)利要求1所述的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述的功率值計(jì)算單元（52）包含有至少兩個(gè)功率值計(jì)算模塊（521），每個(gè)功率值計(jì)算模塊（521）對(duì)應(yīng)于一個(gè)不同的加熱區(qū)域及用于測(cè)量該加熱區(qū)域溫度值的測(cè)溫傳感器（301），且每個(gè)功率值計(jì)算模塊（521）對(duì)應(yīng)于一個(gè)不同的加熱單元（401）；

每個(gè)功率值計(jì)算模塊（521）包含：溫度計(jì)算模塊（501），和溫度計(jì)算模塊（501）及測(cè)溫傳感器（301）分別相連接的比較模塊（502），以及和比較模塊（502）相連接的控制模塊（503）；

溫度計(jì)算模塊（501），用于根據(jù)設(shè)定溫度值和調(diào)整時(shí)間，計(jì)算出對(duì)應(yīng)加熱區(qū)域從當(dāng)前溫度值調(diào)整到設(shè)定溫度值分步調(diào)整所需的若干個(gè)溫度設(shè)定值；

比較模塊（502），用于根據(jù)每步調(diào)整中所述測(cè)溫傳感器（301）測(cè)量的加熱區(qū)域溫度值和所述溫度計(jì)算模塊（501）計(jì)算出的對(duì)應(yīng)溫度設(shè)定值，得到溫度差值；

控制模塊（503），用于將所述比較模塊（502）輸出的溫度差值轉(zhuǎn)換為控制模塊輸出功率值并輸出。

4.如權(quán)利要求4所述的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述的功率值計(jì)算模塊（521）還包含：和溫度計(jì)算單元（501）相連接的前饋模塊（504），以及和前饋模塊（504）、控制模塊（503）分別相相連的相加模塊（505）；

所述溫度計(jì)算模塊（501）還用于計(jì)算分步調(diào)整中每步調(diào)整的溫度斜率；

前饋模塊（504），用于接收溫度計(jì)算模塊（501）計(jì)算出的分步調(diào)整所需的若干個(gè)溫度設(shè)定值和每步調(diào)整的溫度斜率，計(jì)算出溫度每步調(diào)整所需的功率增量值，以及每步調(diào)整中與溫度相關(guān)的熱損失功率值，將功率增量值和熱損失功率值相加得到前饋模塊輸出功率值并輸出；

相加模塊（505），用于將所述前饋模塊（504）輸出的前饋模塊輸出功率值和所述控制模塊（503）輸出的控制模塊輸出功率值進(jìn)行相加，得出對(duì)應(yīng)加熱單元（401）的加熱單元功率值。