[實(shí)用新型]銷(xiāo)高度測(cè)量用塊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220446042.4
• 申請(qǐng)日: 2012-09-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202793253U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌復(fù)華;吳鳳麗;國(guó)建花;姜崴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B5/02
• 分類(lèi)號(hào): G01B5/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)維特專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種銷(xiāo)高度測(cè)量用塊，確切地說(shuō)是一種在半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用銷(xiāo)初次安裝時(shí)，在利用深度尺對(duì)晶圓支撐銷(xiāo)的高度進(jìn)行定位測(cè)量時(shí)，采用的一個(gè)輔助工具，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英寸半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，機(jī)械手負(fù)責(zé)在整個(gè)工藝過(guò)程中，對(duì)晶圓的取放工作。因機(jī)械手自身具有一定的厚度，故要求晶圓在工藝前后，必須與加熱基座之間留有一定的間隙，來(lái)保證機(jī)械手自由伸縮，不會(huì)與晶圓或加熱基座相刮碰。現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備采用不同形式的銷(xiāo)，通過(guò)銷(xiāo)提升機(jī)構(gòu)，使銷(xiāo)在晶圓傳輸過(guò)程中，對(duì)晶圓起到支撐和提升作用。但是因設(shè)備產(chǎn)能的需要，除要求銷(xiāo)上、下運(yùn)行順暢外，還要求晶圓在銷(xiāo)支撐和下降過(guò)程中，均能順利平穩(wěn)的下落，無(wú)滑片現(xiàn)象。這就對(duì)設(shè)備上各銷(xiāo)在晶圓傳輸時(shí)，距離加熱基座上表面的高度有嚴(yán)格要求，而不是毫無(wú)限制的。因加熱基座安裝在反應(yīng)腔內(nèi)，不能利用高度尺去測(cè)量。通常采用的測(cè)量方法，就是：將鋼板尺或深度尺直接立于加熱基座的上表面上，對(duì)銷(xiāo)的高度進(jìn)行測(cè)量。因鋼板尺或深度尺的材質(zhì)是鋼，而加熱基座的材質(zhì)往往是比較軟的鋁或是比較脆的陶瓷，所以在檢測(cè)過(guò)程中，無(wú)論怎樣小心注意，都無(wú)法避免鋼尺對(duì)加熱基座上表面產(chǎn)生損傷，最終影響加熱基座的使用性能。另外，因銷(xiāo)的上表面是球面，采用鋼板尺測(cè)量，讀數(shù)時(shí)會(huì)存在很大的誤差，故一般不采用鋼板尺；而深度尺與銷(xiāo)的端面接觸時(shí)，二者是相切狀態(tài)，銷(xiāo)或深度尺稍有歪斜，也會(huì)產(chǎn)生很大的測(cè)量誤差。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型以解決上述問(wèn)題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的測(cè)量誤差大，對(duì)加熱基座上表面易產(chǎn)生損傷的問(wèn)題，提供一種針對(duì)深度尺設(shè)計(jì)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量誤差小及對(duì)加熱基座上表面無(wú)損傷的輔助檢測(cè)工具。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案：銷(xiāo)高度測(cè)量用塊，該測(cè)量用塊具有上、下兩個(gè)表面。為避免測(cè)量用塊在與加熱盤(pán)接觸后，因材質(zhì)的不同，會(huì)對(duì)工藝效果產(chǎn)生影響，故在測(cè)量用塊下表面的中間部分設(shè)有一凹槽，用來(lái)減少測(cè)量用塊與加熱盤(pán)的接觸面積。另外，在測(cè)量用塊的一端設(shè)有一校準(zhǔn)深度尺用的縱向豁口，其深度與測(cè)量塊高度一致，其各處的外形尺寸均大于標(biāo)準(zhǔn)的深度尺外形尺寸。骨頭孔位于測(cè)量用塊的上表面上，稱之為骨頭孔是由其外形來(lái)定義的。帶骨頭孔的端側(cè)面也設(shè)有一個(gè)橫向豁口，該橫向豁口貫穿整個(gè)測(cè)量塊，與另一端的縱向豁口相互垂直。該橫向豁口的上表面高于銷(xiāo)的高度，而其下表面低于銷(xiāo)的高度，使銷(xiāo)的端面正好處于整個(gè)橫向豁口之內(nèi)，便于在測(cè)量的過(guò)程中，觀察銷(xiāo)與深度尺的相對(duì)位置狀態(tài)。為保持整個(gè)上下表面的平面度，該橫向豁口不能太大，并要求測(cè)量用塊有一定的厚度，以免上下表面變形。另外，銷(xiāo)孔位于骨頭孔的下方，它僅在骨頭孔長(zhǎng)度方向上與骨頭孔同心，在骨頭孔寬度方向上稍微偏離骨頭孔的中心。銷(xiāo)孔和骨頭孔分別位于該橫向豁口的上方和下方。骨頭孔的下表面是該橫向豁口的上表面，橫向豁口的下表面是銷(xiāo)孔的上表面。同樣，銷(xiāo)孔的上表面上設(shè)有倒角，有利于測(cè)量完成后銷(xiāo)的退出。銷(xiāo)孔的下表面設(shè)有圓角，便于測(cè)量時(shí)銷(xiāo)的伸入。

本實(shí)用新型的有益效果是：該結(jié)構(gòu)能夠更好的實(shí)現(xiàn)采用深度尺對(duì)銷(xiāo)高度的測(cè)量。采用本實(shí)用新型，可以有效地避免深度尺的金屬表面直接與鋁或陶瓷加熱基座表面直接接觸，保護(hù)加熱基座，不會(huì)對(duì)加熱基座上表面造成損傷。同時(shí)能更好的使深度尺與銷(xiāo)上端球面相接觸，使測(cè)量結(jié)果更準(zhǔn)確，優(yōu)于單純采用深度尺的測(cè)量效果。該工具能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)深度尺非零尺寸時(shí)的歸零，也可實(shí)現(xiàn)對(duì)銷(xiāo)的實(shí)際高度進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中A-A方向的剖視圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例