[實用新型]一種晶體預熱裝置

有效

• 申請號: 201220445983.6
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN202808989U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 袁靜;張繼宏;李巖
• 申請（專利權）人: 北京京運通科技股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B13/16
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及半導體材料加工領域，尤其涉及一種晶體預熱裝置。

背景技術

在區熔爐中使用區熔法拉制晶體前，由于晶體不能被高頻線圈感應，需要使用預熱裝置對區熔爐中的晶體進行預熱，使晶體達到能被感應加熱的狀態。

目前采用的預熱裝置為手動裝置，包括操作手柄、連接桿和加熱單元，操作手柄通過連接桿與加熱單元固定連接，且操作手柄位于區熔爐外，連接桿穿過區熔爐的爐壁，加熱單元位于區熔爐內。加熱單元通常為預熱叉或者預熱環。

當需要對區熔爐中位于爐膛中心的晶體進行預熱時，操作人員通過操作手柄將加熱單元手動推到爐膛中心，當晶體被加熱到一定溫度后，操作人員再通過操作手柄將加熱單元手動拉回，以遠離爐膛中心。

在使用上述區熔爐的過程中，由于預熱裝置為手動裝置，當區熔爐具有較大直徑時，預熱裝置的位置相對較高，不便于操作人員進行操作，而且操作時運動的速度不夠快，使得晶體原料容易冷卻，又需要重新預熱。另外，手動操作時容易因操作不當出現重大的損失。

實用新型內容

本實用新型的實施例提供一種晶體預熱裝置，解決了現有預熱裝置操作不便、運動速度不夠快、易出現重大損失的問題。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：

一種晶體預熱裝置，用于對區熔爐內的所述晶體進行預加熱，包括加熱單元，還包括驅動裝置，所述加熱單元與所述驅動裝置的連接桿固定連接；所述驅動裝置固定在所述區熔爐的爐膛法蘭外側，且所述連接桿穿過所述爐膛法蘭，所述驅動裝置通過所述連接桿驅動所述加熱單元。

優選地，所述驅動裝置與所述爐膛法蘭間的固定方式為螺栓固定。

優選地，所述的晶體預熱裝置，還包括調整塊，所述加熱單元通過所述調整塊與所述驅動裝置的連接桿固定連接。

其中，所述的晶體預熱裝置，其特征在于，還包括固定環，所述連接桿的自由端通過所述固定環與所述調整塊固定連接。

優選地，所述連接桿的自由端具有凹孔，所述凹孔容納部分所述調整塊。

優選地，所述調整塊的用于連接所述加熱單元的一端的端面上具有凹槽和螺孔，所述加熱單元的用于連接所述調整塊的一端的端面上具有與所述凹槽滑動配合的凸起及與所述螺孔相對的長圓孔；所述凸起用于使所述加熱單元沿所述凹槽滑動；相對設置的所述螺孔與所述長圓孔用于通過螺釘將所述加熱單元與所述調整塊固定連接。

其中，所述的晶體預熱裝置，還包括密封件，位于所述爐膛法蘭與所述連接桿之間。

本實用新型實施例提供的晶體預熱裝置中，由于加熱單元12與驅動裝置11的連接桿14連接，驅動裝置11固定在區熔爐的爐膛法蘭13外側，且連接桿14穿過爐膛法蘭13，驅動裝置11通過連接桿14驅動加熱單元12，因此，當需要對區熔爐中的晶體進行預熱時，通過控制驅動裝置11，可使驅動裝置11的連接桿14驅動加熱單元12在區熔爐內運動，從而使得加熱單元12位于爐膛中心或者遠離爐膛中心。由于驅動裝置11的控制并不受限于驅動裝置11的安裝位置，因此可以選擇方便操作人員進行操作的位置對驅動裝置11進行控制，從而提高了操作便利性；另外由于驅動裝置11的運動速度遠大于人工操作的速度，使得加熱單元12在區熔爐內運動速度較快，從而能保證晶體原料不易冷卻，無需重新預熱，并且，能避免因手動操作不當而出現重大的損失。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的一種晶體預熱裝置的示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的另一種晶體預熱裝置的示意圖；

圖3為圖2中加熱單元的用于連接調整塊的一端的端面放大圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。