[實用新型]膏涂敷裝置

有效

• 申請號: 201220444615.X
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN202845265U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 山本邦雄;小方浩;山下士郎;田中淳也
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 劉曉迪

技術領域

本實用新型涉及使貯存在注射器中的膏排出而涂敷在涂敷對象物的膏涂敷裝置。

背景技術

在半導體制造裝置的裝片工序中，將用于安裝半導體芯片的膏涂敷在引線架等基板上。以往，該膏涂敷通過利用分配器排出膏來進行，作為分配器公知有如下的構成，即，利用氣壓將貯存在注射器中的膏壓出，通過膏排出絲杠從排出口排出（例如參照專利文獻1）。在該專利文獻所示的現有技術中，通過螺紋聯接將收納膏的注射器在使用有膏排出絲杠的泵機構的上方串聯結合，利用氣壓將膏從注射器供給泵機構。

專利文獻1：（日本）特開2009－136826號公報

但是，在上述構成的現有技術中，由于利用螺紋聯接將注射器與泵機構連接的構成導致以下不良情況的產生。即，在現有技術的構成中，注射器與泵機構的泵排出絲杠一同旋轉，在中間位置通過旋轉支承部被旋轉自如地軸支承。在該旋轉支承部，由于注射器的安裝姿勢的傾斜等某種原因，產生不能順暢地軸支承注射器的旋轉的所謂的卡住（カジリ）現象。在這樣的情況下，由于在注射器的旋轉被阻礙的狀態下僅旋轉驅動泵機構的泵排出絲杠，故而在連接注射器的螺絲聯接部產生松弛，具有膏泄漏等不良情況。

實用新型內容

因此，本實用新型的目的在于提供能夠排除注射器的螺紋聯接部的松弛并防止膏泄漏的膏涂敷裝置。

本實用新型的膏涂敷裝置將收納于注射器中的膏涂敷于涂敷對象物明，其中，包括：旋轉部件，其使軸線與同圓筒形狀的所述注射器的軸線同軸的位置對齊而配置，經由螺紋聯接部拆裝自如地連結膏送給口，該膏送給口設于所述注射器的下端部；筒部，其將所述旋轉部件繞所述軸線旋轉自如地保持，形成使設于所述旋轉部件下部的排出螺紋部嵌合的排出空間，形成通過使所述排出螺紋部在所述排出空間內繞所述軸線旋轉而壓送所述膏用的泵機構；排出口，其在所述筒部的端部與所述排出空間連通設置；膏送給路，其在軸向貫通所述旋轉部件，使所述膏送給口和在所述排出螺紋部開設的膏導出孔連通而形成，用于從所述注射器向所述泵機構送給膏；氣壓供給裝置，其通過在允許所述注射器繞軸線旋轉的狀態下將氣壓供給所述注射器的內部，將所述注射器中的膏經由所述膏送給路向所述泵機構給送；排出用旋轉驅動機構，通過使所述旋轉部件相對于所述筒部向規定方向相對旋轉，使所述泵機構動作而將所述送給的膏從所述排出口排出，所述旋轉部件的膏排出時的旋轉方向設定為與所述螺紋聯接部進行聯接時的旋轉方向相反的方向。

根據本實用新型，包括筒部，其將經由螺紋聯接部拆裝自如地連接設于注射器下端部的膏送給口的旋轉部件繞軸線旋轉自如地保持，形成使設于該旋轉部件下部的排出螺紋部嵌合的排出空間，形成通過使排出螺紋部在排出空間內繞軸線旋轉而壓送膏用的泵機構；排出用旋轉驅動機構，通過使旋轉部件相對于筒部向規定方向相對旋轉，使泵機構動作而將送給的膏從排出口排出，其中，通過將旋轉部件的膏排出時的旋轉方向設定為與螺紋聯接部進行聯接時的旋轉方向相反的方向，能夠排除注射器旋轉時的螺紋聯接部的松弛并防止膏的泄漏。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施方式的裝片裝置的立體圖；

圖2是本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置的側面圖；

圖3（a）～（c）是本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置的局部剖面圖；

圖4（a）、（b）是本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置的泵機構的說明圖；

圖5（a）～（c）是本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置中的膏涂敷動作的說明圖；

圖6是本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置中的膏涂敷動作的說明圖；

圖7（a）、（b）是表示本實用新型一實施方式的膏涂敷裝置的旋轉部件的膏排出時的旋轉方向和螺紋聯接部進行聯接時的旋轉方向的關系的圖。

標記說明

3：半導體芯片

6：引線架

6a：涂敷區域

7：膏

9：膏涂敷部

10：移動臺

15：膏涂敷單元

16：注射器

16d：安裝陰螺紋部

16e：膏送給口

17：涂敷嘴

17a：排出口

18：泵機構

19：管

23A、23B：電動機

26A、26B：驅動齒輪

27A、27B：從動齒輪

28：旋轉支承部

31：筒部

31b：排出空間

32：旋轉部件

32a：內部孔