[實用新型]一種多線切割機

有效

• 申請號: 201220443914.1
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN202781472U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 沈抗;周學巧
• 申請（專利權）人: 東海縣抗歆電子廠
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 江蘇銀創律師事務所 32242
• 代理人: 何震花

技術領域

本實用新型涉及一種多線切割機。?

背景技術

　多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動，把磨料帶入半導體加工區域進行研磨，將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片薄片的一種新型切割加工方法。數控多線切割機已逐漸取代了傳統的內圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。?

現有技術中，鋼線導輪常因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產率不高。?

實用新型內容

本實用新型提出一種多線切割機，解決了現有技術中鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產率不高的問題。?

本實用新型的技術方案是這樣實現的：?

本實用新型公開了一種多線切割機，包括加工室、?支架、?多個鋼線導輪、?導輪砂漿桶，所述的鋼線導輪安裝于支架上，所述的支架位于所述的加工室中，所述的多個鋼線導輪為單獨驅動的剛性鋼線導輪。

進一步地，所述的鋼線導輪軸間距440mm。?

進一步地，所述的鋼線導輪長度為500mm。?

進一步地，所述的多線切割機的頂部、底部的鋼線線網各自布網。?

進一步地，所述的導輪砂漿桶位于所述的加工室正下方，容量為240L。?

進一步地，所述的導輪砂漿桶具有多層過濾構造。?

實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術效果：?

防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。?

圖1是本實用新型一種多線切割機構造示意圖。?

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。?

請參閱圖1，本實用新型的實施例，一種多線切割機，包括加工室10、?支架20、?多個鋼線導輪30、?導輪砂漿桶40，鋼線導輪30安裝于支架20上，支架20位于加工室10中，多個鋼線導輪30為單獨驅動的剛性鋼線導輪。?

采用多個鋼線導輪30為單獨驅動的剛性鋼線導輪可防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力（同時加工硅棒長度1000mm）。?

進一步地，鋼線導輪30間軸間距440mm，采用該距離可抑制加工中鋼線的振動、跳線、彎曲。?

進一步地，鋼線導輪30長度為500mm，采用該長度可實現高精度、高出片率，使高送線加工成為可能。?

進一步地，多線切割機的頂部、底部的鋼線線網各自布網，因此，可在頂部、底部也可以用不同的槽距進行加工。?

進一步地，導輪砂漿桶40位于加工室10正下方，容量為240L。?

由于砂漿路徑的最短化，減少了路徑內的淤渣殘留。?

因大容量化，可減輕切薄時硅含有量上升而產生的切割能力下降。?

砂漿自動給排，構造簡易。?

砂漿桶的裝取、清掃的操作性良好。?

進一步地，導輪砂漿桶40具有多層過濾構造。實踐證實，多層過濾構造可徹底除去破片，淤渣，防止由于鋼線跳線造成的出片率惡化，宜采用加工室2層、砂漿桶2層的4層過濾構造。?

實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術效果：?

防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增加，發揮高效的生產能力。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。?