[實(shí)用新型]高純安全特氣柜系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220439355.7
• 申請(qǐng)日: 2012-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN202812797U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘廷志;劉志剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都愛德工程有限公司;鐘廷志
• 主分類號(hào): F17D1/04
• 分類號(hào): F17D1/04
• 代理公司: 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所(普通合伙) 51124
• 代理人: 許澤偉

1.高純安全特氣柜系統(tǒng)，包括特氣柜、設(shè)置在特氣柜內(nèi)的特氣系統(tǒng)，所述特氣系統(tǒng)包括鋼瓶（5）和管路系統(tǒng)，所述管路系統(tǒng)包括供氣管路（61）、稀釋氣體管路（62）以及抽真空管路（63），所述供氣管路（61）上設(shè)置有鋼瓶管接頭（2），所述供氣管路（61）通過鋼瓶管接頭（2）與所述鋼瓶（5）相連，所述稀釋氣體管路（62）和抽真空管路（63）均連在所述供氣管路（61）上，其特征在于：還包括吹掃管路（64），所述鋼瓶管接頭（2）包括氣體通道（21）、依次設(shè)置的密封接口部（22）、緊固部（23）和進(jìn)氣部（25），還包括吹掃部（24），所述吹掃部（24）上設(shè)置有吹掃通孔（26），所述吹掃通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹掃管路（64）與所述吹掃通孔（26）相連通。

2.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述吹掃部（24）上還設(shè)置有進(jìn)氣腔（27），所述進(jìn)氣腔（27）與所述吹掃管路（64）連通，所述進(jìn)氣腔（27）與所述吹掃通孔（26）的進(jìn)口相連通。

3.如權(quán)利要求2所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述吹掃部（24）還包括密封蓋板（28），所述密封蓋板（28）設(shè)置在進(jìn)氣腔（27）頂部并將所述進(jìn)氣腔（27）密封，所述密封蓋板（28）上設(shè)置有與所述進(jìn)氣腔（27）相連通的進(jìn)氣嘴（29），所述進(jìn)氣嘴（29）與所述吹掃管路（64）連通。

4.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述吹掃通孔（26）至少設(shè)置兩個(gè)并均勻分布在所述吹掃部（24）上。

5.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述吹掃部（24）設(shè)置在所述進(jìn)氣部（25）和所述緊固部（23）之間，所述吹掃通孔（26）穿過所述緊固部（23）。

6.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述吹掃管路（64）的兩端分別與所述吹掃通孔（26）和稀釋氣體管路（62）相連通。

7.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述特氣系統(tǒng)設(shè)置有兩組，并且兩組特氣系統(tǒng)并聯(lián)。

8.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述稀釋氣體管路（62）上設(shè)置有單向閥（66），所述單向閥（66）的方向?yàn)闅怏w從稀釋氣體管路（62）進(jìn)入到供氣管路（61）中。

9.如權(quán)利要求1所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述供氣管路（61）上設(shè)置有壓力測(cè)量器（67），所述壓力測(cè)量器（67）設(shè)置在供氣管路（61）與稀釋氣體管路（62）的連接點(diǎn)和鋼瓶管接頭（2）之間。

10.如權(quán)利要求1至9任一權(quán)利要求所述的高純安全特氣柜系統(tǒng)，其特征在于：所述特氣柜上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，所述出氣口設(shè)置在特氣柜的下部，所述進(jìn)氣口設(shè)置在特氣柜的上部，所述進(jìn)氣口上連接由排風(fēng)管路，所述特氣柜除進(jìn)氣口和出氣口外整體密封，所述進(jìn)氣口上設(shè)置有電磁閥，所述特氣柜的柜座上設(shè)置有防震結(jié)構(gòu)。