[實用新型]一種新型薄膜太陽電池激光刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201220439283.6
• 申請日: 2012-08-31
• 公開（公告）號: CN202861625U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 蘇菁;董德慶;莊春泉;汪濤;馬海文;敬雪碧
• 申請（專利權）人: 四川漢能光伏有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;H01L31/18
• 代理公司: 北京中海智圣知識產權代理有限公司 11282
• 代理人: 徐金偉

1.一種新型薄膜太陽電池激光刻蝕裝置，包括激光器、擴束鏡和聚焦鏡，所述擴束鏡安裝于所述激光器和所述聚焦鏡之間，其特征在于：還包括光束整形裝置，所述光束整形裝置安裝于所述激光器和所述擴束鏡之間。

2.根據權利要求1所述的一種新型薄膜太陽電池激光刻蝕裝置，其特征在于：所述光束整形裝置包括第一曲面鏡、第二曲面鏡和外殼，所述第一曲面鏡和所述第二曲面鏡均為一面是曲面、另一面是平面的透鏡，所述第一曲面鏡的平面和所述第二曲面鏡的平面相互平行，所述第一曲面鏡的曲面和所述第二曲面鏡的曲面之間面面相對，所述第一曲面鏡和第二曲面鏡分別通過固定支架固定于所述外殼內。