[實用新型]探針臺的熱對流式降溫附加裝置

有效

• 申請號: 201220438244.4
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202799534U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 宋旻皓;鄭國鵬
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本實用新型涉及一種半導體集成電路制造設備，特別是涉及一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置。?

背景技術

未裝配風冷模組或冷凍機臺的探針臺一般從高溫(85℃左右)降溫至室溫需要耗時120分鐘左右(具體時間視機臺型號和環境溫度而略有區別)。而安裝風冷模組或冷凍機臺會涉及一定的成本，故普通配置的探針臺的高溫切換到常溫時，都需要通過靜置方式緩慢降溫，時間成本被大量浪費。?

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，能加速探針臺從高溫降溫至室溫。?

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種探針臺的熱對流式降溫附加裝置，所述熱對流式降溫附加裝置設置在所述探針臺的連接器上方，包括一外轉子軸流風機及一導風罩，所述導風罩連接在所述外轉子軸流風機的下方，兩者密封連接。?

進一步的，所述導風罩與所述外轉子軸流風機連接為螺紋連接。?

進一步的，所述外轉子軸流風機采用探針臺電源供電。?

進一步的，所述導風罩底部含橡膠密封圈。?

進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸與所述外轉子軸流風機的底部直徑尺寸相同。?

進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸小。?

進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸比所述導風罩底部直徑尺寸大。?

進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸與所述導風罩底部直徑尺寸相同。?

進一步的，所述導風罩頂部直徑尺寸為300mm。?

通過安裝本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置，在探針臺腔體中形成一定高度的氣流層水平運動，從而促進了整體空氣循環，加速熱對流的作用下，腔體內高溫空氣從探針臺前后開口流出，起到了加速探針臺降溫的作用。?

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：?

圖1是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置使用狀態示意圖；?

圖2是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第一實施例結構示意圖；?

圖3是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第二實施例結構示意圖；?

圖4是本實用新型探針臺的熱對流式降溫附加裝置第三實施例結構示意圖。?

主要元件符號說明如下：?

探針臺11????????????????????連接器12?

導風罩13????????????????????外轉子軸流風機14?

導風罩21????????????????????外轉子軸流風機22?

導風罩31????????????????????外轉子軸流風機32?

導風罩41????????????????????外轉子軸流風機42?

具體實施方式

為使貴審查員對本實用新型的目的、特征及功效能夠有更進一步的了解與認識，以下配合附圖詳述如后。?

如圖1所示，本實用新型熱對流式降溫附加裝置，包括外轉子軸流風機14及導風罩13，所述導風罩13位于外轉子軸流風機14的下方，所述導風罩13與所述外轉子軸流風機14通過螺紋連接，兩者密封連接；所述熱對流式降溫附加裝置設置在連接器(FrogUnit)12的上方，覆蓋連接器12，即導風罩13的下底面直徑尺寸比連接器12的直徑尺寸大；所述連接器12位于探針臺11的上頂面，本實用新型熱對流式降溫附加裝置通過連接器12推射大量常溫氣流進入探針臺11內，在探針臺11腔體中形成一定高度的氣流層水平運動，從而促進了整體空氣循環，加速熱對流的作用下，對其進行降溫；所述導風罩13的底部可以設置一橡膠密封圈(圖中未標出)；用于緊密貼合探針臺11的上表面，提高氣密性。本實用新型的熱對流式降溫附加裝置采用探針臺電源供電并且當探針臺不需要降溫時，可以隨時移走所述熱對流式降溫附件設備，極大提高了設備的便攜性。?

如圖2所示，為本實用新型熱對流式降溫附加裝置第一實施例結構示意圖，包括外轉子軸流風機22及導風罩21，其中導風罩21的上頂面直徑尺寸與外轉子軸流風機22的直徑尺寸相同，導風罩21的下底面直徑尺寸比導風罩21的上頂面直徑尺寸大，?使得導風罩21的形狀為圓臺型。例如：外轉子軸流風機22的直徑尺寸可以為300mm，而導風罩21的下底面直徑尺寸可以為320mm。?