[實用新型]電源線保護結構

有效

• 申請號: 201220437560.X
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN202856261U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 許亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H02G3/04
• 分類號: H02G3/04
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術領域

本實用新型涉及一種氣相沉積設備中電源線保護結構。

背景技術

為了避免等離子體產生的電弧放電產生極高電壓的干擾，在化學氣相沉積（chemical?vapor?deposition，CVD）設備中，位于反應腔中、且連接在加熱機構的電連接組件及電源箱之間的電源線，需要在其周圍形成屏蔽保護結構，以防止電弧放電導致電連接失效。

圖1顯示的是設置有現有的電源線保護結構的裝置700’位于CVD設備的反應腔內，其中，反應腔底板2及加熱機構4分別位于所述裝置700’的上部及下部，電源線3的一端通過貫通所述反應腔底板2的隔離引線棒21連接至電源箱（未圖示，電源箱位于CVD設備反應腔外）,所述隔離引線棒21包括絕緣隔離層（未圖示）和中空腔體（未圖示）供所述電源線3穿過反應腔底板2時電學隔離，所述加熱機構4連接有電連接組件41，所述電源線3的另一端連接至所述電連接組件41。現有的電源線保護結構1’為長度固定的結構，由于安裝該保護結構時，需要先將電源線3貫穿于所述現有的保護結構1’中，而后再采用緊固件5（例如：螺栓51和螺母52）使該電源線3固定連接在電連接組件41上，因此電連接組件41暴露于現有的保護結構1’之外，即現有的保護結構1’設置于電連接組件41以下，但為了最大范圍的保護電源線3，因此現有的保護結構1’與電連接組件41之間的留有的空隙很小。

這種長度固定的現有的保護結構1’存在如下不足:一方面，安裝現有的電源線保護結構1’時，由于其與電連接組件41之間留有的空隙很小，因此借助緊固件5固定安裝電源線3至電連接組件41上、或更換/拆卸緊固件5時，都比較費時費力；另一方面，由于電連接組件41及用于連接的緊固件5均暴露于現有的電源線保護結構1’之外，因此不利于對電連接組件41及緊固件5進行防電弧放電的隔離保護，進一步，暴露于現有的保護結構1’之外的電連接組件41及緊固件5直接暴露于反應腔中，在CVD設備的反應腔進行成膜工作之后，所述緊固件5容易同時被覆蓋膜，使所述緊固件5不易更換及拆卸的同時，更易被電弧放電所干擾。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種電源線保護結構，用于解決現有技術中電源線保護結構長度固定引起的電連接組件及緊固件暴露于電源線保護結構之外、及緊固件安裝/拆卸費時費力的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種電源線保護結構，所述電源線保護結構長度可調，其至少包括：?

均設有內側壁和外側壁的外套管及內套管；

該外套管和內套管相互連接并相對轉動；其中，所述外套管套設于該內套管的外部，所述電源線貫穿于所述內套管和外套管套設形成的中空腔體中。

可選地，所述外套管和內套管均具有中心軸，且各該中心軸位于同一條直線上。

可選地，與所述電源線相連接的電連接組件設置于所述外套管和內套管形成的中空腔體中。

可選地，所述內套管和外套管通過螺紋進行連接，外套管的內側壁設有的內螺紋與內套管的外側壁設有的外螺紋相匹配。

可選地，所述內套管外側壁的一端設置有凸耳；所述外套管內側壁的一端設置有與所述凸耳嚙合的內螺紋，另一端設置有與所述凸耳相匹配、沿所述外套管的一端向另一端縱長方向、并與所述內螺紋相連通的引導槽。

可選地，所述內套管外側壁的一端設置有凸耳；所述外套管內側壁的一端設置有與所述凸耳嚙合的多個相互平行的環形槽，另一端設置有與所述凸耳相匹配、沿所述外套管的一端向另一端縱長方向、并與所述多個相互平行的環形槽相貫通的引導槽。

可選地，所述外套管內側壁的一端設置有凸耳；所述內套管外側壁的一端設置有與所述凸耳嚙合的外螺紋，另一端設置有與所述凸耳相匹配、沿所述內套管的一端向另一端縱長方向、并與所述外螺紋相連通的引導槽。

可選地，所述外套管內側壁的一端設置有凸耳；所述內套管外側壁的一端設置有與所述凸耳嚙合的多個相互平行的環形槽，另一端設置有與所述凸耳相匹配、沿所述內套管的一端向另一端縱長方向、并與所述多個相互平行的環形槽相貫通的引導槽。

可選地，所述電源線保護機構的材料為耐高溫的絕緣材料，至少包括陶瓷、聚四氟乙烯。