[實(shí)用新型]一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220433637.6
• 申請(qǐng)日: 2012-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN202748447U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 默江輝;李靜強(qiáng);馬杰;李亮;崔玉興;付興昌;蔡樹軍;楊克武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 夏素霞

1.一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于包括用于提供直流電源的柵極電源和漏極電源、柵極電流表和漏極電流表、測(cè)試信號(hào)發(fā)生器、測(cè)試信號(hào)調(diào)制器以及用于放置目標(biāo)測(cè)試芯片的、帶有柵極輸入端和漏極輸入端的探針臺(tái)；所述柵極電源的輸出端經(jīng)由柵極電流表與探針臺(tái)的柵極輸入端相連接，所述漏極電源依次經(jīng)由漏極電流表、測(cè)試信號(hào)調(diào)制器后與探針臺(tái)的漏極輸入端相連接；所述測(cè)試信號(hào)發(fā)生器的輸出端與測(cè)試信號(hào)調(diào)制器的觸發(fā)端相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于在所述柵極電流表和探針臺(tái)的柵極輸入端之間還設(shè)有測(cè)試信號(hào)調(diào)制器；所述測(cè)試信號(hào)發(fā)生器的輸出端與測(cè)試信號(hào)調(diào)制器的觸發(fā)端相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于還包括測(cè)試信號(hào)監(jiān)測(cè)器，所述測(cè)試信號(hào)監(jiān)視器的輸入端與測(cè)試信號(hào)調(diào)制器的輸出端相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述測(cè)試信號(hào)監(jiān)測(cè)器為示波器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于還包括濾波模塊，所述濾波模塊設(shè)于柵極電流與探針臺(tái)之間或/和測(cè)試信號(hào)調(diào)制器與探針臺(tái)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述柵極電源和漏極電源均為直流穩(wěn)壓電源。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種寬禁帶半導(dǎo)體芯片直流性能測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述柵極電流表和漏極電流表均為臺(tái)式萬用表。