[實(shí)用新型]一種防塵真空等離子腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220433533.5
• 申請(qǐng)日: 2012-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202839529U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施露;邱勇;黃秀頎;林立;魏博
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/02
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/02
• 代理公司: 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 張杰

1.一種防塵真空等離子腔室，其包括上腔室（1）和下腔室（2），所述上腔室（1）和所述下腔室（2）之間通過(guò)設(shè)置于所述下腔室（2）上端面的密封槽（21）內(nèi)的密封圈（3）實(shí)現(xiàn)密封連接，其特征在于：

所述下腔室（2）的上端面上具有防塵凸起（22），所述防塵凸起（22）相對(duì)所述密封圈（3）接近腔室內(nèi)壁設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵真空等離子腔室，其特征在于：

所述防塵凸起（22）在靠近所述密封圈（3）的一側(cè)成型有吸塵凹槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防塵真空等離子腔室，其特征在于：

所述防塵凸起（22）與所述下腔室（2）一體成型。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防塵真空等離子腔室，其特征在于：

所述防塵凸起（22）在靠近所述密封圈（3）的一側(cè)涂覆粗糙度Ra大于50微米的鋁制磨砂涂層，其靠近腔室的一側(cè)涂覆Al₂O₃或Y₂O₃絕緣涂層。