[實用新型]一種太陽能電池用光致化學沉積裝置

有效

• 申請號: 201220432679.8
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN202744625U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 夏洋
• 申請（專利權）人: 夏洋
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48;C23C16/24
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 趙芳;徐關壽

1.一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：包括補液系統、沉積系統，所述補液系統包括放置反應溶液的補液腔體，所述補液腔體內的底部安裝有將反應溶液加熱到反應溫度的第一加熱裝置，其上部安裝有實時監測補液系統溫度的第一在線溫度監測裝置，所述補液腔體上設有將液體輸送至沉積系統的液體輸出管道，其內在液體輸出管道的上方設有過濾裝置，所述液體輸出管道上安裝有控制定量傳輸反應溶液的液體流量計；

所述沉積系統包括沉積反應腔體，所述沉積反應腔體的底部安裝有將反應溶液加熱到反應溫度的第二加熱裝置、向沉積反應腔體內間隔時間輸送高純氮氣和控制反應溶液均勻性的鼓泡裝置、控制反應時間的時間控制器以及控制溶液均勻性的循環裝置，所述沉積反應腔體內安裝有將硅片固定在沉積反應腔體內的真空吸附裝置，其上方安裝有實時監測沉積系統溫度的第二在線溫度監測裝置及模擬太陽光照射在PN結表面并在沉積反應腔體內形成內建電場的光照系統。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：所述光照系統包括輸出恒定穩定光強的太陽光模擬裝置和維持太陽光模擬裝置處于恒溫狀態的風冷裝置，所述太陽光模擬裝置包括點燃時輻射出穩定強烈連續光譜的穩態氙燈、穩壓電源和控制光譜輻照度分布與標準光譜輻照度分布匹配的匹配器。

3.根據權利要求1所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：所述沉積系統的沉積反應腔體上方連接有在線溶液檢測裝置，所述在線溶液檢測裝置包括實時測量和監控沉積反應腔體內反應液體濃度的液體濃度測試儀，以及將反應溶液從沉積反應腔體在線引入到液體濃度測試儀的在線管路裝置。

4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：所述沉積系統還配設有在線膜厚檢測裝置，所述在線膜厚檢測裝置包括在線測試硅片上生成的二氧化硅薄膜厚度的膜厚測試系統和將待測硅片傳遞至待測區域的傳遞裝置，所述膜厚測試系統為單波長激光橢偏儀，包括激光器、承載樣片的載物臺和自準直顯微鏡，所述傳遞裝置為鏈式輸送機。

5.?根據權利要求1~4之一所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：第一加熱裝置和第二加熱裝置均由控制加熱溫度的溫度控制器和加熱腔體內液體用的交變電源和電熱絲組成。

6.根據權利要求5所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：所述過濾裝置是二次過濾裝置，其由進行初步過濾的濾紙和進行二次過濾的濾網組成。

7.根據權利要求6所述的一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，其特征在于：所述真空吸附裝置包括沉積平臺，所述沉積平臺內安裝有將硅片吸附在所述沉積平臺上的負壓風機。