[實(shí)用新型]壓合裝置及固晶機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220431901.2
• 申請(qǐng)日: 2012-08-28
• 公開（公告）號(hào): CN202749354U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通富士通微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/50
• 代理公司: 北京市惠誠(chéng)律師事務(wù)所 11353
• 代理人: 雷志剛;潘士霖

1.一種壓合裝置，其特征在于，包括施壓部件和驅(qū)動(dòng)所述施壓部件上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述施壓部件具有朝下設(shè)置的施壓平面，所述施壓平面的長(zhǎng)度方向與待施壓框架的運(yùn)動(dòng)方向一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓合裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為直線驅(qū)動(dòng)器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓合裝置，其特征在于，所述直線驅(qū)動(dòng)器的活塞桿豎直向上設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓合裝置，其特征在于，所述直線驅(qū)動(dòng)器為氣壓缸、液壓缸或電動(dòng)推桿。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的壓合裝置，其特征在于，所述施壓部件為曲臂，所述曲臂包括施壓臂、過渡臂和連接臂，所述連接臂位于所述施壓臂的上方，所述連接臂與所述施壓臂通過所述過渡臂連接，所述連接臂與所述驅(qū)動(dòng)裝置固定連接，所述施壓平面位于所述施壓臂的下表面。

6.一種固晶機(jī)，包括固晶機(jī)本體，所述固晶機(jī)本體上具有用于傳送待施壓框架的軌道平面，其特征在于，所述固晶機(jī)本體上固定連接有如權(quán)利要求1-5任一所述的壓合裝置，所述壓合裝置的施壓平面位于軌道平面的上方。