[實用新型]藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置

有效

• 申請號: 201220429934.3
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN202786511U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 方啟彬;馬劍鈞;康寧
• 申請（專利權）人: 貴州建新南海科技股份有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B15/00;C30B35/00;F16L27/107
• 代理公司: 遵義市遵科專利事務所 52102
• 代理人: 劉學詩

技術領域

本實用新型屬于機電一體化技術，尤其屬于藍寶石單晶爐長晶設備中真空系統柔性連接裝置。

背景技術

藍寶石單晶爐是新型LED基底材料藍寶石長晶高端裝備，藍寶石長晶是在真空環境中獲得，在由各種真空元器件組成的真空通道中，有一些剛性元器件與另外一些剛性元器件之間由于各自尺寸不同，所以很難在安裝尺寸上保持一致，為了解決這一相互連接，在兩個剛元器件之間設置一個柔性連接件把兩個通道連接起來。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，它的結構組成包括：兩端需要連接的第一真空通道裝置和第二真空通道裝置之間由柔性連接件通過兩端的外接法蘭與兩個剛性通道裝置實現連接，柔性連接件由不銹鋼波紋管和兩端外接法蘭組成柔性連接件。

采用本技術方案的有益效果：可很好解決兩端剛性元器件不同尺寸和位置的連接，結構簡單，易于制造安裝，用于各種型號的藍寶石單晶爐真空系統中。

附圖說明

圖1為本實用新型的藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置的示意圖。

圖中：1-第一真空通道裝置、2-柔性連接件、3-第二真空通道裝置。

具體實施方式

本實用新型所述的藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，現對照附圖加以說明：該結構組成包括：兩端需要連接的第一真空通道裝置1和第二真空通道裝置3之間，由柔性連接件2通過兩端的外接法蘭與兩個剛性真空通道裝置實現連接，柔性連接件2由不銹鋼波紋管和兩端外接法蘭組成柔性連接件。