[實(shí)用新型]制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220429456.6
• 申請(qǐng)日: 2012-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN202865334U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何軍舫;王軍勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/34;C01B21/064
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，由爐體和爐蓋構(gòu)成，其特征在于，所述爐體由內(nèi)至外依次為具有沉積腔的石墨筒、加熱器、保溫隔熱層和具有夾層的外殼，石墨筒上設(shè)有石墨蓋，所述保溫隔熱層為具有中空部的夾層結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述爐體底部和/或爐體側(cè)壁設(shè)有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口為由不同原料氣體進(jìn)入的氣管內(nèi)外同心環(huán)套而成的套管進(jìn)氣口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述爐體底部和爐體側(cè)壁分別設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述套管進(jìn)氣口由2-3個(gè)氣管環(huán)套而成，內(nèi)部的氣管的端面和與其相鄰的外部的氣管的端面不在同一平面，端面之間的垂直距離不大于50mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述保溫隔熱層為碳纖維或陶瓷材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述爐蓋由外層的鋼質(zhì)殼體和內(nèi)層的保溫隔熱層構(gòu)成，保溫隔熱層為具有中空部的夾層結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的環(huán)空保溫氣相沉積爐，其特征在于，所述爐蓋上具有出氣口。