[實用新型]制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐有效
| 申請號： | 201220429023.0 | 申請日： | 2012-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN202786420U | 公開（公告）日： | 2013-03-13 |
| 發明（設計）人： | 何軍舫;王軍勇 | 申請（專利權）人： | 北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/34;C01B21/064 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址： | 101101 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 氮化 制品 多方位 進氣口 沉積 | ||
【權利要求書】：
1.制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，由爐體和爐蓋構成，其特征在于，其中爐體底部和爐體側壁分別設有進氣口，所述進氣口為由不同原料氣體進入的氣管內外同心環套而成的套管進氣口。
2.根據權利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，其特征在于，所述爐體側壁的進氣口的個數為多個。
3.根據權利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，其特征在于，所述套管進氣口由2-3個氣管環套而成，內部的氣管的端面和與其相鄰的外部的氣管的端面不在同一平面，端面之間的垂直距離不大于50mm。
4.根據權利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，其特征在于，所述爐體由內至外依次為具有沉積腔的石墨筒、加熱器、保溫隔熱層和具有夾層的外殼，石墨筒上設有石墨蓋。
5.根據權利要求4所述的制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，其特征在于，所述保溫隔熱層為碳纖維或陶瓷材料制成。
6.根據權利要求1所述的制備熱解氮化硼制品用的有多方位進氣口的氣相沉積爐，其特征在于，所述爐蓋由外層的鋼質殼體和內層的保溫隔熱層構成。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
