[實用新型]一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置

有效

• 申請號: 201220428230.4
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN202808382U
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 羅邦彥
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 錢成岑;詹永斌

技術領域

本實用新型涉及一種濕法除塵裝置，特別是一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，屬于多晶硅生產技術領域。?

背景技術

在改良西門子法多晶硅生產系統中，三氯氫硅是重要的生產原料，為了最大限度的利用資源，節約生產成本，減少環境污染，一般都設置有配套的三氯氫硅合成和四氯化硅氫化系統，以合成三氯氫硅和循環利用多晶硅還原工序中產生的四氯化硅。

三氯氫硅合成工序中，在合成塔內流化狀態的硅粉和氯化氫反應生成三氯氫硅，合成塔出來的混合氣中含有三氯氫硅，四氯化硅，二氯二氫硅，氯化氫、氫氣、少量硅粉及高聚物等組分，合成氣首先經過旋風分離器和網袋過濾器可以除去合成氣中絕大部分硅粉，然后再通過濕法除塵裝置除去微量硅粉及高聚物。

傳統的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置是通過塔頂冷凝器冷凝下來的氯硅烷液體自然回流至塔內對合成氣進行洗滌，由于自然回流量不易控制且受系統波動影響大，固體雜質及高聚物在洗滌塔塔體內不能得到有效洗滌而隨上升氣流夾帶至冷凝器內，在冷凝過程中，雜質不斷地殘留在冷凝器列管內，堵塞氣流通道、減少有效換熱面，降低換熱效率；堵塞到一定程度后導致系統憋壓而不得不減量運行，嚴重的將堵死冷凝器的列管，導致合成系統被迫停車檢修，使得生產系統中存在安全隱患，甚至發生嚴重的安全事故；不僅如此，含有固體雜質的合成氣體在后續的合成尾氣回收工序中，還容易對尾氣回收工序的換熱器和過濾器等設備造成堵塞，影響整個多晶硅生產系統的正常運轉。?

發明內容

本實用新型的發明目的在于：針對上述存在的問題，提供一種新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，該除塵裝置能有效的除去合成氣中的固體雜質及高聚物，以降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期、穩定地運行。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，包括塔體、塔底的再沸器和塔頂的冷凝器，其特征在于：所述冷凝器至塔體的回流管道上，設置有回流槽和回流泵，且所述回流泵位于回流槽的出口。

所述回流管道上還設置有過濾器，且所述過濾器位于回流槽與回流泵之間。

所述過濾器的個數為至少2個，且相互并聯。

所述回流管道上還設置有控制閥，且所述控制閥位于回流泵與塔體之間。

本實用新型的三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置，所述塔體上部設置的氣體出口管道連接冷凝器，冷凝器還設置有氣體出口和冷凝液出口，冷凝液出口通過回流管道回流至塔頂進行合成氣的洗滌，合成氣的進口設置在塔體的中部，塔體底部的洗滌后帶雜質的冷凝液通過再沸器蒸發濃縮后，從塔體底部的殘液采出口排出，本實用新型采用在回流管道上設置回流槽和回流泵的方式建立回流，回流槽能夠存儲一定量的回流液體，能夠為回流泵的提供穩定的液體流量；過濾器能進一步的過濾除去在冷凝液中的固體雜質；兩個以上的過濾器則為裝置預留了備用的過濾器，以便于生產中對過濾器進行維護和更換清洗；回流泵與塔體間的回流管道上的控制閥能夠相當方便的調節回流泵出口的流量，以保證除塵裝置工況的穩定調節。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：該三氯氫硅合成氣濕法除塵裝置設計巧妙，回流管道的流量穩定，易于控制，裝置操作穩定，使得洗滌效果大大加強，能有效的除去合成氣中固體雜質及高聚物，降低因冷凝器及管線堵塞停車檢修的頻率，保證裝置長周期運行，為產品產量及質量提供了保障。

附圖說明

圖1是本實用新型的裝置連接示意圖。

圖中標記：1-塔體、2-再沸器、3-冷凝器、4-回流管道、5-回流槽、6-過濾器、7-回流泵、8-控制閥。

具體實施方式

下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例