[實用新型]研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220426532.8
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN202846332U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設計）人: 王祥奎
• 申請（專利權）人: 青島豪雅光電子有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04
• 代理公司: 北京瑞盟知識產(chǎn)權代理有限公司 11300
• 代理人: 劉昕

技術領域

本實用新型涉及用于對薄板工件進行研磨拋光的研磨裝置。

背景技術

固體攝像元件在手機、移動攝像裝置等領域被廣泛應用。在固體攝像元件中，玻璃蓋板、色修正濾鏡等都是由薄板玻璃制造的。目前主要使用的薄板玻璃的厚度為0.5mm～1.1mm，但是隨著固體攝像元件不斷小型化，期望固體攝像元件中的玻璃蓋板、色修正濾鏡等的厚度更薄，達到0.3mm以下。

在制造玻璃蓋板、色修正濾鏡等薄板玻璃元件時，需要對玻璃板工件進行一系列處理，并最后通過研磨加工對其表面拋光。通常使用如專利文獻1～3中記載的研磨裝置進行研磨拋光。該研磨裝置使用上定盤和下定盤夾持薄板工件，并驅動上定盤和下定盤相對于玻璃板工件在水平方向上移動，用上定盤和下定盤上的研磨皮研磨拋光工件的上下表面。

當制造厚度為0.3mm以下的薄板玻璃時，研磨加工后的薄板玻璃表面會有條紋不良、凸凹不良以及損傷不良等，嚴重影響薄板玻璃的生產(chǎn)率，提高薄板玻璃的成本。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-221348號公報

專利文獻2：日本特開2011-152622號公報

專利文獻3：日本特開2011-194517號公報

實用新型內容

為解決上述現(xiàn)有技術的問題，本實用新型的目的在于提供一種研磨裝置，其能夠有效地提高對厚度極薄的薄板工件進行研磨加工時的產(chǎn)品生產(chǎn)率。

本實用新型的研磨裝置，其用于對薄板工件進行研磨處理，其特征在于，具有：下定盤，其上表面上裝載待研磨的所述薄板工件，上定盤，其設置于所述下定盤的上方，其下表面與所述下定盤的上表面對置，上定盤升降機構，其用于升降所述上定盤，以在所述上定盤的下表面和所述下定盤的上表面之間夾持所述薄板工件，設置于所述上定盤的下表面和所述下定盤的上表面的研磨皮，以及驅動機構，其在所述上定盤和所述下定盤夾持所述薄板工件的狀態(tài)下進行驅動，使所述研磨皮研磨所述薄板工件。其中，所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為75以上。

附圖說明

圖1為本實用新型的一個實施方式的薄板玻璃制作工序的流程圖。

圖2為薄板玻璃制作工序中的切割工序的示意圖。

圖3為本實用新型的一個實施方式的研磨裝置的結構簡圖。

圖4為表示損傷不良的發(fā)生率與研磨皮的硬度的關系的曲線。

圖5是表示研磨皮的結構的圖。

圖6是用于說明本實用新型的原理的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式。

以下，以薄板玻璃為本實用新型中的“薄板工件”的具體例子進行說明。

（薄板玻璃的制造工序）

圖1為本實用新型的一個實施方式的薄板玻璃制作工序的流程圖。

本實施方式的薄板玻璃的制造工序適用于制造厚度為0.3mm以下的薄板玻璃，能夠有效提高薄板玻璃的生產(chǎn)率，降低生產(chǎn)成本。

以下，以加工厚度為0.200mm的薄板玻璃為例，說明本實施方式的薄板玻璃的制造流程。

在本實施方式中，假定制作薄板玻璃使用的原料為玻璃塊（glass?block）。

首先，在工序S101中，對玻璃塊實施切割加工。

圖2為該切割工序的示意圖。在圖2中，原料玻璃塊GB被切割成多個具有一定厚度的玻璃板W。

在工序S101中，將玻璃塊GB切割成厚度比最終產(chǎn)品略大的多個玻璃板（切片工序），并將玻璃板裁切成與最終產(chǎn)品相近的外周尺寸（裁切工序），得到玻璃板工件W。例如玻璃板工件W的厚度0.7mm左右，每個玻璃板工件W通過后續(xù)的制作工序被加工成最終產(chǎn)品的薄板玻璃。

在工序S102中，利用倒角裝置對在工序S101中得到的玻璃板工件W的四角以及棱線進行倒角加工。

在工序S103中，利用專利文獻1～3中記載的雙面研磨裝置，通過在上定盤和下定盤表面設置砂磨盤，對玻璃板工件W的兩面進行砂磨加工。

在工序S102中得到的玻璃板工件W的上下表面均為在工序S101中切割加工后的表面，因此其表面平整度差，并且切割加工的厚度尺寸與所要求的厚度相差大。因此，利用S103的砂磨加工，去除玻璃板工件W上因切割加工形成的起伏，并使玻璃板工件W的厚度接近所要求的厚度。例如在本實施方式中，在S103的砂磨加工中，玻璃板W的厚度被加工至0.260mm。